无机质谱仪主要用于无机元素微量分析和同位素分析等方面。分为火花源质谱仪、离子探针质谱仪、激光探针质谱仪、辉光放电质谱仪、电感耦合等离子体质谱仪。质谱仪zui重要的应用是分离同位素并测定它们的原子质量及相对丰度。测定原子质量的精度超过化学测量方法，大约2/3以上的原子的质量是用质谱方法测定的。有机质谱仪的基本工作原理是：利用一种具有分离技术的仪器，作为质谱仪的'进样器'，将有机混合物分离成纯组分进入质谱仪，充分发挥质谱仪的分析特长，为每个组分提供分子量和分子结构信息。
质谱技术具有高灵敏度、高分辨率、分析速度快等优势，融合电子离子光学、物理化学等学科，涉及精密电子、精密机械、真空、软件、自动控制等技术，在健康、食品安全、环境监测、工业过程分析等领域具有的作用和举足轻重的地位。质谱可与其他分离仪器连用，如质谱-液相色谱。质谱是带电粒子在磁场中分开测质量的技术。质谱不属波谱范围；质谱图与电磁波波长和分子内某种物理量改变无关；质谱是分子离子及碎片离子质量与其相对强度的谱；谱图和分子结构有关；进样量少，灵敏度高，分析速度快。
质谱仪能用高能电子流等轰击样品分子，使该分子失去电子变为带正电荷的分子离子和碎片离子。这些不同离子具有不同的质量，气相色谱质谱仪，质量不同的离子在磁场的作用下到达检测器的时间不同，其结果为质谱图。质谱分析是先将物质离子化，按离子的质荷比分离，然后测量各种离子谱峰的强度而实现分析目的一种分析方法。同位素质谱分析法的特点是测试速度快，结果精1确，样品用量少（微克量级）。能精1确测定元素的同位素比值。广泛用于核科学，地质年代测定，同位素稀释质谱分析，同位素示踪分析。
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