随着的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如,用显微镜对图像进行高度放大的成像系统,显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果,在曝光过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动,不存在相对位移,成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动,则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时,控制相对运动都是很重要的。 光学平台的台面设计,需要遵循一定的长厚比,一般取10:1左右,原则上不建议7:1 或高于15:1。但对于台面的隔振性能影响,容易被忽略的是内部支撑结构。国内的光学平台,多采用“米字形”或“井字形”支撑结构,国外的台面内部多采用真蜂窝支撑结构,经长时间、多方面的研究和验证,真蜂窝的支撑结构能更加有效地提高台面的隔振效果。光学平台系统包括光学台面和隔振腿。光学平台可放置仪器并对振动进行控制。光学平台台面是隔振系统中重要的一部分,其主要作用是提供一个无相对形变的刚性平台,当有振动源传递到桌面时,桌面蜂窝结构和阻尼可有效减弱光学平台振动变形。隔振腿除了支撑,主要作用是隔离来自地面的振动,隔振性能是其极为重要指标之一。其他性能还包括:各腿高度独立调节,自动水平,载重能力,高度可选,有无磁性等等。平台安装注意事项:隔振平台系统能不能运载到实验室固定位置,气浮隔振平台,是一定要慎重考虑的。与工程人员、同事、或装配工一同走一遍安装路线——接收点、电梯、走廊、门口甚至窗口(如果需要使用起重机),可以发现可能存在的物流问题,并对系统方案做出必要的修改。其次需要注意的是实验室的配套设备,包括电压电流、照明、干燥气体供应(用于支持维持系统)以及空气调节系统。如果缺乏清洁的干燥气体,则需要使用高质量的空气压缩机。不洁或潮湿的气体会极大地影响气浮隔振系统,不合规定的电源会产生不必要的噪声,乃至精密电子设备的浪涌。 志城精研-武汉气浮隔振平台由武汉志城精研科技有限公司提供。武汉志城精研科技有限公司是湖北 武汉 ,光学计量标准器具的见证者,多年来,公司贯彻执行科学管理、发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在志城精研领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈,共创志城精研更加美好的未来。 产品:志城精研供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单