无机质谱仪主要用于无机元素微量分析和同位素分析等方面。分为火花源质谱仪、离子探针质谱仪、激光探针质谱仪、辉光放电质谱仪、电感耦合等离子体质谱仪。质谱分析仪是按照离子的质荷比(m/z)不同，分离不同分子量的分子，测定分子量并进行成分和结构分析的一种精密、的仪器。质谱分析是先将物质离子化，按离子的质荷比分离，然后测量各种离子谱峰的强度而实现分析目的一种分析方法。
质谱仪的日常维护，清洗离子源，离子源污染会造成重现性不良，应及时清洗离子源。进行离子源操作时需要戴清洁的手套。质谱仪常见几种分类，有机质谱仪：由于应用特点不同又分为：气相色谱-质谱联用仪，在这类仪器中，由于质谱仪质谱仪工作原理不同，又有气相色谱-四极质谱仪、气相色谱-飞行时间质谱仪、气相色谱-离子阱质谱仪等。组成质谱仪的基本部件有哪些，四极质量分析器(quadrupole analyzer)，原理：由四根平行圆柱形电极组成，电极分为两组，分别加上直流电压和一定频率的交流电压。
QqQ质谱给四极杆质谱仪在保留QMS原有定量能力强的特点上，质谱仪价格一般是多少钱，提供了串级功能，加强了质谱的定性的能力，检测标准中常作为QMS的确认检测手段。 质谱仪真空泵的保养方法，油受到污染时：取下加油孔的塞子，倒进干净的油。重新连上泵和电路的连接，开泵运转5-10分钟。断开泵和电路的连接，取下排油口的塞子，让油流出来。质谱仪真空泵的保养方法，在运转过程中，质谱真空泵和油会受到化学品的污染。所以，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害。
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