该类设备是利用C段紫外光线将油烟分子分解成CO2(二氧化碳)和H20（水蒸气）和O3（臭氧），并通过臭氧进一步氧化其他异味分子。该类设备的原理有点像燃烧催化的技术，但它的覆盖面更多，餐饮油烟净化，净化效率更好，能达到90%。静电油烟净化器这是目前市面上很流行的油烟净化设备，其工作原理就是当油烟废气通过高压静电力场时，油烟废气颗粒与电子接触并带有电荷，然后被电场吸附起来。
目前此法在国内的市场上较少采用。等离子体净化法近期市场上有报道出现等离子体油烟净化设备的使用。其原理是利用高压静电法的同时，在静电场的前端设置等离子场，利用其高能量所激发的大量活性自由基对油雾粒子进行降解，使其粘度下降，油烟净化，易于收集。在产生等离子体的同时，高频放电产生的瞬时高能量，能打开某些有害气体的化学键而成为单质原子或无害分子。
高度也就是增加四五十公分，如果是两个或以上，建议外置风机。通过上面我们知道，油烟净化一体机主要是用在对于油烟净化效果比较高，厨房空间比较小，但有足够高度的情况下，工业油烟净化，主要功能是除油烟，直排油烟净化器，根据配置不同，还可以除味道以及内置风机，当然，如果一些要求比较高的厨房，虽然风量比较大，灶头比较多，但考虑管道清洗等问题，也会采用油烟净化一体机。
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