因此，在维护真空泵时，应更换转盘和弹簧，并清洁转子和泵室。检查排气阀是否失灵，导致排气不良。必要时更换排气阀。
真空泵维修中常见的漏油故障之一，主要发生在真空泵的油窗、油箱垫片和电机轴承轴封处。主要原因是这些零件的老化和真空泵使用寿命长导致密封失效和漏油。油窗漏油是由于真空泵使用寿命长导致油窗老化，或油窗与油箱之间的粘合剂老化失效，导致泵漏油。
真空机组所用油的防护措施有：选用带有油封装置的真空泵并对其安装离心式分别器等装置，油装置的安装可以减少润滑油的变化程度使之呈现原有的效果，也可以减少真空机组换油的频率以及提高机器的使用效率。
真空机组所用油对比于其他机器来说有很大的不同，并且会非常注意所拥有的氧化程度。因为润滑油在机器不使用的状态下会接触到空气中的氧气或其他金属物质，真空箱选型，会在一定温度下的加速氧化程度使油品的PH值呈酸性，其用油的粘度也会随之发生变化。
将真空泵连接到过渡室中的阀门上，启动真空泵，缓慢打开阀门并将空气泵入系统（如果阀门打开过快，可能导致手套膨胀）。
当真空表指针下降并稳定在-01mpa时，真空泵此时完成，先关闭阀门，真空箱厂商，然后关闭真空泵。
然后通过另一个阀门向罐内注入惰性气体，直接压力略高于大气压力（气压表指数为0mpa），焦作真空箱，使罐内外压力基本平衡，罐内略高于罐外，这可以确保大气不会渗透到油箱中，如果你想使油箱中的气体更纯净。
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