我们的空气分子控制等的技术正在朝有利的方向发展,这项技术原先是由日本发展起来的,净化车间装修工程,现在已经受到了全世界的关注和认可,在我们,这项技术已经受到了相关行业的重视并且投入研发,相信在不久的未来,我们的相关科研人员一定会在这个领域取得让人满意的成绩,为我们的净化工程行业做出贡献。10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求更加高。地面可采用环氧自流坪地坪或塑料地板,有防静电要求的,要选用防静电型。送回风管道一般用镀锌钢板,不宜选用玻璃棉类材料保温。照明应选用净化车间灯具。

10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求更加高。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。净化工程在设计时,无论是新建还是重新改造的净化车间,都一定依照相关标准、规范进行。


100级:是的净化工程,除了对空气中的尘埃数有要求,对空气中细菌的浓度也有明确要求。一般用于医药行业进行无菌制造,例如制造临床用于植入体内的物品,药品生产。医学科学实验也在此环境中,包括实验动物饲养环境。现在国内的相关企业很多,所以净化工程企业之间的竞争也很激烈,因为科技的发展使得市场对净化工程的要求高了起来,从以前的价格竞争变成了现在的价值竞争。所以相关的净化工程企业应该提高自身的自主研发能力,不断的发展,才能适应这个竞争激烈的市场。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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