可对应300mm硅片的背面的缺陷检测。
【背面检测】对硅片外周（Bevel）进行非接触式高速检测。 画像处理根据预先设定的参数条件自动提取各种缺陷，并判定是否合格。当线性光照射硅片时，正反射光与入射角相同的角度反射。如果硅片表面凹凸不平，光就会散射并出现多个角度的反射光。通过接收向上的散射光来检测硅片上的凹凸缺陷。
【缺陷种类】：划痕，颗粒，GM， E to E ，Pin mark，Hola，Susceptor Scrach
【生产能力】：根据缺陷种类不同每片检测快只需 30S。
【菜单功能】：可编辑检测菜单，并进行参数保存与导出。
【检测对象】：8~12寸 抛光片
【检测范围】：背面缺陷
