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视频作者：北醒（北京）光子科技有限公司
激光雷达
雷达技术作为人类感知世界的“眼睛”，天津半固态激光雷达，具备对于人类视觉范围以外、中远距离的环境感知的能力，在现代和民用领域都扮演着重要的角色。众所周知的毫米波雷达、微波雷达、超声波雷达等传统技术发展历程较长，技术相对成熟，激光雷达（LiDAR）相比传统雷达的工作频段，光频段的波长较短，因而可以极大提高雷达的距离分辨力、角分辨力、速度分辨力，并且得益于激光的高方向性和高相干性，可以实现远距离抗干扰探测与测距。激光雷达测距和测速具有不同的工作方式，测距一般可以通过飞行时间法和三角法实现，调频连续波的探测方法则可以实现速度、距离的同时测量。通过高灵敏的探测手段，可以获得目标的距离、速度等信息，在制导、测绘、无人驾驶等领域发挥重要的作用。
MEMS激光雷达
二维扫描的MEMS微振镜是激光雷达的关键器件，主要可以通过电热效应、静电效应、电磁效应和压电效应驱动。有研究小组通过对电热双压电晶片驱动的微振镜加热，金属铝的形变大于介质硅，从而形成微结构的振动。实验可以施加电压2.3V，获得9°的偏转角。但是电热效应引起微振镜偏转通常响应速度较低，有实验通过施加12mW的电功率，响应速度只有74Hz。电磁效应驱动的MEMS系统需要在内部封装可动磁性物质或者可动线圈产生磁场，如图3所示，通过施加磁场形成洛伦兹力使得线圈产生偏转，从而驱动MEMS振镜偏转，响应速度可以超过10kHz。压电效应需要异质材料的介入，压电材料（PZT）具有、响应速度快等优点。日本研究小组采用电镀的方法在硅上沉积PZT薄膜，高清半固态激光雷达多少钱，加工形成MEMS结构并进行光学扫描，高清半固态激光雷达，实验获得11.2kHz的响应速度，39°的视场角。静电效应驱动MEMS具有尺寸小、可单片全集成的优点，受到广泛研究。通常，采用静电效应驱动微反射镜的方式需要在真空环境下，以获得更高的驱动效率，10V电压驱动可以实现大约10°的扫描角度。瑞典KTH的研究小组近期验证了一种新方法，如图4所示，高清半固态激光雷达厂家，通过MEMS改变光栅周期实现衍射光角度偏转，在20V电压驱动下达到5.6°的扫描角度，功率消耗在微瓦量级。
固态激光雷达工作原理
固态激光雷达主要是依靠波的反射或接收来探测目标的特性，大多源自三维图像传感器的研究，实际源自红外焦平面成像仪，焦平面探测器的焦平面上排列着感光元件阵列，从远处发射的红外线经过光学系统成像在系统焦平面的这些感光元件上，探测器将接受到光信号转换为电信号并进行积分放大、采样保持，通过输出缓冲和多路传输系统，终送达监视系统形成图像。
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