光学微电子净化工程解决方案:
3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口
这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

光学微电子行业净化工程设计方案分析:对于常规电子厂房洁净室空调的设计,百级无尘室,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验,对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的,又要初投资低的,可以选用柜机+FFU。总之,无尘室施工,具体的方案选择根据具体情况而定。


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