【检查方法】检查检漏报告和日常维护记录。
【结果处理】当无特殊要求时，未作现场扫描检漏的应补做，如无特殊要求，无尘室工程改造，宜采用将纳入《洁净室施工及验收规范》的粒子计数器大气尘检漏法。 【参考】 大气尘检漏法可用2.83L/min粒子计数器，对5级及其以下洁净室所用普通高1效过滤器，无尘室厂家，需要高1效过滤器上游浓度≥5000粒/L，采样口宜为15mm×20mm，20mm为平行于扫描方向的长边，采样口离检漏表面25mm，扫描速度≤2cm/s。
【参考】 扫描过程中当出现≥1粒计数时，即出现漏泄特征，简易无尘室，应在该处停留1min，若再出现≥3粒的计数，无尘室，即判断为漏，否则为不漏。
【参考】 ISO14644指出粒子计数器法比DOP光度计法检漏更灵敏。沉积在过滤器和管道上的DOP的挥发对产品可能造成无法接受的污染或分子污染；长时间测试会造成过滤器污染堵塞；对人也有危害。
4
新风系统
4.1
新风口设置高度应离地不少于
2.5m
。
【检查方法】现场测量。
【结果处理】不符合要求又不能拆改时，作为临时整改措施，可在新风口处平
整出一块水泥地面，四周加以格栅围挡，经常清洁。
4.2
新风口水平方向应离排风口
10m
以上，垂直方向在排风口
2m
以下。屋顶上
的新风口应高出屋顶
1m
以上。
【检查方法】现场测量。
【结果处理】距离不够时加弯头等措施。
4.3
新风口应有防雨措施，宜在新风口安装阀门，停运时可以关闭。
【检查方法】防止措施为安百叶（不能用木制）
。安阀门是为了保证在系统停
止运行时减少室外空气对系统内污染。
4.4
为减少卷吸杂物，新风口风速不应大于
5m/s
，以
3
～
4m/s
为宜。
【检查方法】查检查报告或热球风速仪现测。
【结果处理】如太大，应扩大新风口或外装喇叭口。
脱无尘衣之注意事项：
a、出无尘室后脱下手套洗手完毕才可开始脱无尘鞋、无尘衣。
b、脱无尘衣程序：(1)手套 (2)鞋子 (3)衣服 (4)头罩 (5)发罩 (6)口罩。
5.无尘室内之注意事项
a、进入无尘室之油漆或物品须先经空气清洗除尘之手续。
b、在无尘室中必须使用手套，并禁止抓头、抹脸或搓手，手套若有破损应即予换新。
c、严禁在设备上书写及刻划。
d、在无尘室必须使用无尘室纸笔。
e、避免在机器上使用胶带粘贴纸张。f当使用气1时，必须置于除尘抽风口，以免灰尘污染产品。
6、异常状况处理：
a、在设备发生异常状况（非紧急状况），请先与设备之负责人或设备部工程师联络后再作处置。
b、遇有气体外泄，化学品翻洒及火警等紧急状况请通知值班保安人员。
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