环氧树脂SU-8模具硬烤(光刻胶的第三次烤)第三次也是zui后一次光刻胶烘烤称为“硬烘烤”,这是该过程的zui后一步,但可以是可选的。在工艺结束时,SU-8 光刻胶内部会保留大量强度,这可能会在表面产生裂纹,甚至分层……硬烘烤会在高温(超过 120°C)下加热 SU-8 光刻胶压制这些力量。多亏了它,一些裂缝消失了,SU-8 光刻胶变得更硬了。再次,它与软烘烤和PEB相同,光刻胶的增加和冷却必须稍微进行。 外观结构1、具有一定透明度,可透光检查模具效果及内部结构;2、外形可与硅片类似,成圆形,上下平整,PDMS模具,有切边。模具优点1、不用做疏水处理,脱模简单2、不易碎裂3、表面易清洁,可重复使用顶旭微控提供PDMS芯片模具定制加工服务,可提供纯硅模具,SU8模具,亚克力模具,树脂模具。纯硅模具,深刻比大,精度高;SU8模具,采用光刻工艺,zui小线宽5um,深宽比zui大2:1;亚克力模具,适合大于0.1mm的流道。顶旭微控,拥有he心技术,多年加工经验,效率gao,承接科研定制,企业小批量、大批量定制。SU-8软烤(光刻胶的第yi次烘烤)软烘烤的目的是蒸发溶剂,使 SU-8 光刻胶更坚固。蒸发会稍微改变层的厚度,并准备好暴露在紫外线下的 SU-8 光刻胶。实际上,大约 7% 的溶剂量可以实现良好的曝光。这将取决于层的厚度,但请记住,有问题的点将是 SU-8 光刻胶内部的机械应力。为了尽可能地减少这种压力,你必须稍微加热和冷却。使用热板来烘烤 SU-8 光刻胶,它可以让您从晶片的底部到顶部都有热量,从而有利于溶剂蒸发。对于渐进式加热,我们建议您遵循特殊的加热模式,第yi个平台为 65°C,然后第二个平台为 95°C,每个平台的时间取决于 SU-8 光刻胶层的厚度。在此步骤结束时,晶片可以在数周内保持在黑暗和平坦的表面上,然后继续并完成该过程而不会产生严重后果。 PDMS模具-顶旭苏州微控技术由顶旭(苏州)微控技术有限公司提供。顶旭(苏州)微控技术有限公司为客户提供“微流控芯片定制,微流控芯片加工设备,微流控仪器,表面修饰”等业务,公司拥有“微流控芯片定制,微流控芯片加工设备,微流控仪器,表面修饰”等,专注于生物制品等行业。,在苏州工业园区斜塘街道东富路32号雅景综合产业园A栋A217室的名声不错。欢迎来电垂询,联系人:周经理。 产品:顶旭供货总量:不限产品价格:议定包装规格:不限物流说明:货运及物流交货说明:按订单