耗材硅片硅片没有特殊要求，单面抛光即可。制备SU8模具时在硅片抛光旋涂光刻胶。光刻掩膜板光刻掩膜版（又称光罩，英文为Mask Reticle），简称掩膜版，是制备SU8模具光刻工艺所使用的图形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成微结构掩膜图形，通过曝光过程将微结构图形信息转移到SU8光刻胶涂层上，实现微结构的jing确复zhi。光刻掩膜版，一般可分为菲林掩膜版和玻璃掩膜版两种。 SU8模具制备流程1.后烘将曝光后的硅片放置在热板上，进行后曝光烘烤，以确保光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，然后温度95℃，烘烤3min）2.显影将硅片放入显影剂中，使未曝光部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）3.清洗将显影后的硅片用异丙chun溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。4.检查使用显微镜检查制备的SU-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，桌面光刻机，确认图案的清晰度和质量。顶旭（苏州）微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案装箱清单1、桌面微型紫外光刻机主机 1台2、匀胶机 1台3、热板 2台4、数显测厚规（千分款） 1只5、显微镜 1台 （选配）6、耗材：硅片、掩膜版、SU8光刻胶 （需额外购买）顶旭（苏州）微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。 四川桌面光刻机-顶旭(推荐商家)由顶旭（苏州）微控技术有限公司提供。顶旭（苏州）微控技术有限公司坚持“以人为本”的企业理念，拥有一支高素质的员工队伍，力求提供更好的产品和服务回馈社会，并欢迎广大新老客户光临惠顾，真诚合作、共创美好未来。顶旭——您可信赖的朋友，公司地址：苏州工业园区斜塘街道东富路32号雅景综合产业园A栋A217室，联系人：周经理。 产品：顶旭供货总量：不限产品价格：议定包装规格：不限物流说明：货运及物流交货说明：按订单
