ST系列镀膜机
ST系列镀膜机系我司标准化产品,满足大部分实验室科研需求,丰富的可选配置也可响应您的特殊需要。特点:1、集成一体化结构。
2、极限真空度高,可达7×10-5Pa,可保证更高的镀膜纯净度,提高镀膜质量。
3、从大气到工作背景真空(7×10-4Pa)时间短,真空镀膜生产厂家,30分钟左右(充干燥氮气)。 系统停泵关机12小时后真空度:≤8Pa。
4、整机采用柜式结构,密封性能好,防尘防水,真空镀膜价格,安全。
5、磁控、热蒸发多种镀膜方式可选。
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真空镀膜机原理
真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成,真空镀膜厂家,排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。本公司从事真空镀膜设备的研发与生产拥有经验丰富的技术团队及的售后服务队伍为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。
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真空镀膜系统
离子蒸发及溅射源
多弧镀的蒸发源一般为圆饼形,俗称圆饼靶,也有长方形的多弧靶。靶座中装有磁铁,通过前后移动磁铁,改变磁场强度,可调整弧斑移动速度及轨迹。为了降低靶及靶座的温度,要给靶座不断通入冷却水。为了保证靶与靶座之间的高导电、导热性,还可以在靶与靶座之间加锡垫片。磁控溅射镀膜一般采用长方形或圆柱形溅射阴极。
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