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[供应]高纯供气系统

更新时间:2024/3/6 1:11:36
高纯供气系统





大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、NF3)、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的投资规模巨大,采用1的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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试验室供气需求

目前大多数试验室中的各种分析仪器如气相色谱仪、气相色谱质谱仪、液相色谱质谱仪、原子吸收分光光度计、原子荧光光度计、等离子发射光谱仪、电感耦合等离子质谱仪等都需要连续使用高纯载气和燃气,因此试验室的安全、连续、稳定运行需要我们考虑如何将这些气体供到各试验室中放置的分析仪器。

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高纯供气系统

实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室,没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路,主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢,安装在天花板下方,沿着墙走,这样便于检查和维修。此外,试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口,便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置,高纯供气系统,排气管路不能并在一 起,盘管由不锈钢材料制成,有足够的韧性。减压阀要有标示,标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高质量的不锈钢制成,所 有气体管路有合适的接地保护措施。





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