气净化设备
第I种
直接脱氧法。就是使用活性金属、催化剂与气中的氧气进行反应，消化掉气中的氧气，从而达到脱氧的目的，经过分子筛吸收掉气中的水份，使气的含水量小于1ppm。
第II种
是采用吸气剂。在一定温度下，吸气剂可吸收氮、氢、氧、、二氧化碳、等气体经吸收处理后，气的纯度可达到6个九，这种工艺生产出来的高纯气体适用于各类仪器仪表适用要求。
第I种方法设备投资小，高纯供气哪家好，第II种方法设备纯化纯度高但投资相对较大。
小流量气体净化系统
高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气，应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气，也可用于超高纯度气体管道安装施工中的吹扫气体，更可以为半导体工艺设备提供超高纯的工艺气体。
气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂，电化学抛光316L不锈钢管件，出气口配置微米过滤器，其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的世界水平。
气体配比仪采用质量流量计，电化学抛光316L不锈钢管件，双卡套或者VCR气体接头。
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高纯供气系统
供气系统材料选择的基本原则是: 一是不宜用非金属材料，二是材料不吸附气体、不产生气体，三是不产生粒子。一般气体管道宜采用无缝钢管，当输送气体的纯度≥99．99%时，内蒙古自治高纯供气，管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管; 管道与设备的连接段宜采用金属管道，如选用非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚管等工程塑料管，不应采用乳胶管;氢气和氧气管道使用的部件、仪表应是该介质的产品，不得使用替代品。其它部件的选择应给出设计建议，如输送阀门和氧接触部分应采用非燃烧材料，其密封圈应使用有色金属、不锈钢、镍基合金等材料; 管道接口法兰垫片的应根据管内输送的气体确定; 管道固定件( 管夹) 应采用耐高温的金属材料，且坚固、轻巧、。
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