试验室供气现状
目前我们可以用采用高压气瓶、液体杜瓦瓶、集中供气系统完成上述工作。同时,当地消防规范建议甚至要求将主要的气体源如气瓶、杜瓦瓶和液体储槽放置在工作区外的指1定区域,然后将气体通过管道系统输送至试验室内。
但是考虑安全和效率因素,不考虑经济性因素,集中供气系统是比较优1秀的方式。并成为当今试验室设备使用高纯气体的可靠连续的供应源,气体通过管道系统输送至试验室内,并可通过安装在工作台上的使用点二级减压器方便地调节压力和流量。
国内比较老的试验室在使用气体的时候大多是将气瓶放在用气点的旁边,然后在气瓶出口处安装一个减压器,然后直接通过紫铜管或四氟软管连接到仪器上,如果一个试验室里有多个使用设备时,就会有很多气瓶,同时有很多杂乱的管路,同时这些气体不乏有毒气体、强腐蚀气体,以及气瓶出口高压等因素,使得这种方式在现实使用过程中是充满危险性的。
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高纯供气系统
高纯气体,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氮,氢,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体。而对于氧气,纯度为4个9即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。氧气是无色,无味,无毒,不燃的气体,是强氧化剂,能助燃,它与可燃性气体按一定比例混合后容炸。压缩氧气与油脂接触,温度超过油脂燃点时可发生自燃,因此,在与氧气接触的地方,只能使用经过认可的材料。
特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种,按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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