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视频作者：北京晓韬科技有限公司
气体流量积算仪
1、 输入信号：标准线性信号、P t 1 0 0 热电阻、频率信号。
2、可开方及小信号切除。8 个补偿点及参数。
3、 4 位瞬时流量值显示和 6 位或 9 位累计流量值显示。
4、频率输入时可对超低频进行流量积算与瞬时流量显示。
5、可清除流量积算值、累计流量值清零。
6、可编程定量积算流量、可批量、定量控制。
7、变送输出：0～10mA 或 4～20mA。
8、可对瞬时、累计流量控制输出。
9、可将两个流量信号按配比合成后显示瞬时流量及进行流量累计，模拟输出可同时选择 两路。
10、双流量积算控制、双模拟量变送。可批量、定量控制。
11、仪表断电后，参数及累计流量值可*保存。
12、可提供多主机，单主机，无主机方式的 RS485 异步串行通讯方式。通讯数据校验遵照 CRC-16 美国数据通讯标准，高可靠性循环，条码校验。
怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？
气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，流量控制仪厂家，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），流量控制仪报价，这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数，流量控制仪公司， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，流量控制仪，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是， 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位， 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。
质量流量计
质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）， 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器， 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）， 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
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