由于原子的能级很多，原子在被激发后，CS995型红外碳硫分析仪，其外层电子可有不同的跃迁，但这些跃迁应遵循一定的规则(即“光谱选律”)，因此对特定元素的原子可产生一系列不同波长的特征光谱线，这些谱线按一定的顺序排列，并保持一定的强度比例。光谱分析就是从识别这些元素的特征光谱来鉴别元素的存在(定性分析)，而这些光谱线的强度又与试样中该元素的含量有关，因此又可利用这些谱线的强度来测定元素的含量(定量分析)。
射线管发射具有高能量的粒子束照射样品， 当其能量大于样品原子中某一轨道电子的结合能时， 便可将该轨道的电子逐出， 形成空穴， 即时外层电子跃向空穴， 电子轨道层的能量差将以特征X射线荧光逸出原子， 其能量差与原子序数相对应， 以此能谱的峰位和净强度进行定性和定量分析。依据RoHS检测中元素的特点以及大量实际检测经验， 能量色散X射线荧光光谱仪因其激发源采用较大功率的Rh靶来产生特征X射线激发样品原子中K层L层谱线， 可降低背景
1. 铅（Pb） 使用该物质的例子：焊料、玻璃、PVC稳定剂
2. （Hg）（）使用该物质的例子：温控器、传感器、开关和继电器、灯泡
3. 镉（Cd ） 使用该物质的例子：开关、弹簧、连接器、外壳和PCB、触头、电池
4. 六价铬（Cr 6+ ） 使用该物质的例子：金属防腐蚀涂层
5. （PBBS） 使用该物质的例子：阻燃剂，PCB、连接器、塑料外壳
6. 多二苯醚（PBDE） 使用该物质的例子：阻燃剂，PCB、连接器、塑料外壳
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