电子束穿过样品时会携带有样品的信息,TEM的成像设备使用这些信息来成像。投射透镜将处于正确位置的电子波分布投射在观察系统上。观察到的图像强度,I,在假定成像设备质量很高的情况下,近似的与电子波函数的时间平均幅度成正比。若将从样品射出的电子波函数表示为Ψ,则不同的成像方法试图通过修改样品射出的电子束的波函数来得到与样品相关的信息。根据前面的等式,可以推出观察到的图像强度依赖于电子波的幅度,同时也依赖于电子波的相位。虽然在电子波幅度较低的时候相位的影响可以忽略不计,但是相位信息仍然非常重要。
所以反映在电镜图像上,改变焦距的时候会出现两个严重的拉伸,拉伸方向可能因样品而不同,但是这两个拉伸方向一定正交。所以此时将焦距调节至两个拉伸明显状态的中间位置,基本固定焦距。然后在此焦距下,扫描电镜能谱技术服务,进行消像散线圈的调节,先调X或Y中的一个维度,待图像达到清楚后再调节另一个维度。
有关拉伸方向的判断并不困难,试样中的各种特征点都可以作为判断依据,比如孔洞或者颗粒,或者样品边缘,都可以轻易的进行判断。尤其在像散比较大时,不要焦距和像散的两个维度乱调一气,以免像散过大而完全无从判断。
作用 进行初步成像放大,改变物镜的工作电流,可以起到调节焦距的作用。电镜操作面板上粗、细调焦旋扭,即为改变物镜工作电流之用。为满足物镜的前述要求,不仅要将样品台设计在物镜内部,以缩短物镜焦距;还要配置良好的冷却水管,以降低物镜电流的热飘移;此外,还装有提高成像反差的可调活动光阑,及其要达到高分辨率的消像散器。对于的电子显微镜,都通过物镜装有以液氮为媒质的防污染冷阱,给样品降温。
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