PVD1010A真空镀膜机配置表
一、真空机组
1、2X30旋片泵（南光）
2、2X70旋片泵（南光）
3、RTO300S罗茨砂泵（萃曼）
4、KT500扩散泵（真龙）
5、阀门：GDZ500A高阀（全不锈钢结构），维持阀、前级阀、预抽阀为GDQ100型（全不锈钢结构），DDC65、DDC80电磁充气阀（上海二阀），旁通阀为罗茨泵内安装阀。
6、管道为SUS304不锈钢结构，软连接为波纹管。
二、罐体
1、太钢SUS304不锈钢带水冷套结构，内尺寸1000*1000
2、工件支杆
3、内衬板
4、布气管路
5、放气阀加装空气滤清器
三、标准件：密封圈，气路部件（二位五通电磁阀为德国进口BURKERT产品），不锈钢水阀，不锈钢水路接头，不锈钢螺钉，压力表，热电偶，电机，减速机及木箱包装等。
四、加热器：编组U型管状15KW,中心+周边
五、工件转盘
六、磁控靶：一支中心圆柱磁控靶
七、弧源（含电源）钛靶材100,气动引弧；直流逆变弧电源DC160A（深圳瑞菱）
八、质量流量计：德国BURKERT 8711型，1000SCCM一台，500SCCM二台
九、全自动电气控制系统：三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW触摸屏、FCS410型气体流量控制器、HY99401B复合真空计、FLX12型光栅阀角度控制器、接触器、空开、断路器、继电器、开关按扭、岛电温控表、数字电压表、变频器、电位器、机柜、面板、布线（主要元件选用国外，威德米勒，三菱，施耐德等）
十、偏压电源：脉冲逆变PLS20KW
十一、直流电源：直流逆变DC20KW
十二、随机备件：密封圈，轴承，油封，工具等
