本实施方式中，边缘曝光装置20架设于基板输送机构50上，且包括边缘曝光机21、CXD影像处理器22及驱动装置23。边缘曝光机21与基板S的边缘对齐设置。CXD影像处理器22与边缘曝光机21连接，例如固定于边缘曝光机21的前端，用于撷取基板S和边缘曝光机的边缘的影像，并通过该影像测定基板S的偏移量。驱动装置23与边缘曝光机21和CXD影像处理器22连接，驱动装置23根据基板S的偏移量驱动边缘曝光机2
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本实施方式中，边缘曝光装置20架设于基板输送机构50上，且包括边缘曝光机21、CXD影像处理器22及驱动装置23。边缘曝光机21与基板S的边缘对齐设置。CXD影像处理器22与边缘曝光机21连接，例如固定于边缘曝光机21的前端，用于撷取基板S和边缘曝光机的边缘的影像，并通过该影像测定基板S的偏移量。驱动装置23与边缘曝光机21和CXD影像处理器22连接，驱动装置23根据基板S的偏移量驱动边缘曝光机20移动，以补偿偏移量。该基板的偏移量是指基板S的边缘相对于边缘曝光机21的偏移量。
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