一些新的三防涂覆技术应运而生，其中真空涂覆技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术。真空涂覆技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的涂覆，从而使固体表面具有损、耐高温、耐腐蚀、、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。
因此真空涂覆
真空镀膜涂料
一些新的三防涂覆技术应运而生，其中真空涂覆技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术。真空涂覆技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的涂覆，从而使固体表面具有损、耐高温、耐腐蚀、、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。
因此真空涂覆技术被誉为发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
Parylene在传感器领域中的应用，除了作绝缘介质外，更多用作防护材料，它能耐酸、碱和，对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔防护能力，用极薄的涂层提供良好的防护。
Parylene不仅电性能，防护性能好，而且生物相溶性也好，它已通过美国FDA论证，满足美国药典生物材料VI类标准，被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物材料。
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