脉冲激光沉积介绍
脉冲激光沉积，是一种用途广泛的薄膜沉积技术。脉冲激光蒸发靶材，生成与靶材组成相同的薄膜。PLD 的之处是能量源（脉冲激光）位于真空室的外面。这样，在材料合成时，工作压力的动态范围很宽，达到10-10 Torr ~ 100 Torr。它涉及高能量脉冲辐射冲击固体靶时，激光与物质之间的所有物理相互作用，亦包括等离子羽状物的形成，其后已熔化的物质通过等
脉冲激光沉积装置厂家
脉冲激光沉积介绍
脉冲激光沉积，是一种用途广泛的薄膜沉积技术。脉冲激光蒸发靶材，生成与靶材组成相同的薄膜。PLD 的之处是能量源（脉冲激光）位于真空室的外面。这样，在材料合成时，工作压力的动态范围很宽，达到10-10 Torr ~ 100 Torr。它涉及高能量脉冲辐射冲击固体靶时，激光与物质之间的所有物理相互作用，亦包括等离子羽状物的形成，其后已熔化的物质通过等离子羽状物到达已加热的基片表面的转移，及膜的生成过程。通过控制镀膜压力和温度，可以合成一系列具有功能的纳米结构和纳米颗粒。
另外，PLD 是一种“数字”技术，在纳米尺度上进行工艺控制（A°/pulse）。
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脉冲激光沉积细节介绍
很多复杂氧化物薄膜在相对高的氧气压力（>100 Torr）下冷却是有利的。所有Pioneer 系统设计的工作压力范围。从它们的额定初始压力到大气压力。这也有益于纳米粒子的生成。
Pioneer PLD 系统的激光束入射角为45°，保持了激光密度在靶材上的均匀性，同时避免使用复杂而昂贵的光学部件。浅的入射角能够拉长靶材上的激光斑点，导致密度均匀性的损失。
为了避免使用昂贵的与氧气兼容的真空泵流体，消除油的回流对薄膜质量的影响，所有Pioneer 系统的标准配置都采用无油真空系统。
我们的研究表明靶和基片的距离是获得较佳薄膜质量的关键参数。Pioneer 系统采用可变的靶和基片的距离，对沉积条件进行较大的控制。
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