洁净实验室作为科学研究、产量优化、安全保障和质量控制的重要组成部分,在实验室设计领域和制造过程中越来越重要。设计和建设洁净实验室,应充分考虑其潜在危险性,并以此作为洁净实验室设计建设时考虑的重要因素。根据《洁净厂房设计规范》规章规定,对工作认为比较合适的低照度作了统计,其结果略高于150lx。其中空调机房就近设置,缩短送回风管路,同时还应设置配套的培养间、卫生学准备间、清洗间、灭菌间等。因此,
千级洁净室
洁净实验室作为科学研究、产量优化、安全保障和质量控制的重要组成部分,在实验室设计领域和制造过程中越来越重要。设计和建设洁净实验室,应充分考虑其潜在危险性,并以此作为洁净实验室设计建设时考虑的重要因素。根据《洁净厂房设计规范》规章规定,对工作认为比较合适的低照度作了统计,其结果略高于150lx。其中空调机房就近设置,缩短送回风管路,同时还应设置配套的培养间、卫生学准备间、清洗间、灭菌间等。因此,将一般照明的下限值定为150lx是合适的,虽然在300lx时有更高的工作效率。
抗性消声器的消声原理是:它不直接吸收声能,而是借助管道截面的突出扩张或收缩,或旁接共振腔,使沿管道传播的部分噪声在突变处向声源方向反射回去而不通过消声器,从而达到消声的目的。在较宽的频带范围内有较大的消声量。体积小、造价低、结构简单、加工方便。在防微振领域,从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面的建树,为集成电路生产提供了一个优良的环境。消声器内所用材料要能防火、防蛀、防腐、防潮、耐高温及在气流作用下不致使吸声材料被吹走。
如果密封带分别设置在门盒和门风扇中,则必须注意两者之间的良好连接,减少密封条在门缝中的中断间隙。
食品厂洁净室的地板和墙壁、墙壁和墙壁、墙壁和天花板应用硅胶密封。所有干净的房间窗户、干净的门和隔板间隙都需要用密封胶密封。吊顶表面平整度差小于2mm,各接缝平直度必须小于1.5mm,各接缝高度必须小于1mm,各接缝间隙不大于0.5mm,墙板垂直度误差小于1度。按冷却介质的种类可分为空气冷却和水冷却两种形式,按压缩机种类可分为活塞式、螺杆式、离心式三种形式,按提供的冷源或热源情况可分为冷水机组和热泵机组两种形式。
在集成电路的制造过程中,被加工的是单一的硅片,从原材料到产品需要进行几百道物理、化学加工工序,其间如果遭受污染,就会引起产品大量报废,例如64 MDRAV,在制造过程中,空气中尘埃粒径应被控制在0.035μm以下;环境微振动值应控制在4.5X10-3mm/s以下,在光刻工序,很小的微振动会引起对位不准,影响产品的成品率。其他如精密机械加工、光学器件检测、激光实验、超薄金属轧制以及理化实验等都需要对微振动进行控制。照度:由于无尘洁净室的工作内容大多有精细的要求,而且又都是密闭性房屋,所以,对照明一向有很高的要求。
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