实验室高纯气体管道工程主要的作用是什么
主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体,保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。按照要求,将所用全部气体存放于储气间,并实现集中输送,组成供气系统。
实验室高纯气体管道工程采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式,在一拖多时能够实现分段控制和在多
气体管道系统
实验室高纯气体管道工程主要的作用是什么
主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体,保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。按照要求,将所用全部气体存放于储气间,并实现集中输送,组成供气系统。
实验室高纯气体管道工程采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式,在一拖多时能够实现分段控制和在多拖一和多拖多时能够实现切换控制;并能够保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化,满足分析检测设备对使用气体的技术要求。

高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。对日用气量不超过一瓶的气体,实验室内可放置一个该种气体的气瓶,但气瓶应有安全防护设施。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。
注:①管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高i级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间抽成真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。焊接联接焊接联接的强度和密封性i好,适用于各种管道,省工省料,但拆卸时必须切断管子和管子联接件。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

实验室气体管道工程概述
气体管路:指气瓶至仪器终端之间连接管线,一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成,输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体,奥立龙在建设和设计实验室气路工程有丰富的项目经验,可以为广大客户完成安全的实验室气体输送设计和建设。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道,需要用保温材料包覆在管道外面,防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。

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