磁控溅射
磁控溅射是物理的气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。磁
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磁控溅射
磁控溅射是物理的气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,而上世纪 70 年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。磁控溅射设备的主要用途(1)各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。
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磁控溅射靶在镀膜过程中的重要作用
磁控溅射靶是真空磁控溅射镀膜的核心部件,它的重要作用主要表现在以下两个方面(1)对于表面的镀膜,磁控溅射靶影响着膜层的均匀性与重复性;(2)当膜层材料为贵重金属时,靶的结构决定着靶材(形成薄膜的材料),即该贵重金属的利用率。
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磁控溅射镀膜的优点
磁控溅射镀膜是现代工业中不可缺少的技术之一,磁控溅射镀膜技术正广泛应用于透明导电膜、光学膜、超硬膜、抗腐蚀膜、磁性膜、增透膜、减反膜以及各种装饰膜,在国1防和国民经济生产中的作用和地位日益强大。镀膜工艺中的薄膜厚度均匀性,沉积速率,靶材利用率等方面的问题是实际生产中十分关注的。磁控溅射镀膜仪厂家带你了解更多!3)渐变反射膜渐变反射膜是一种在不同角度观察,反射的颜色不同的膜层。
磁控溅射技术发展过程中各项技术的突破一般集中在等离子体的产生以及对等离子体进行的控制等方面。通过对电磁场、温度场和空间不同种类粒子分布参数的控制,使膜层质量和属性满足各行业的要求。
膜厚均匀性与磁控溅射靶的工作状态息息相关,如靶的刻蚀状态,靶的电磁场设汁等。
溅射镀膜膜厚均匀性是间接衡量镀膜工艺的标准之一,它涉及镀膜过程的各个方面。因此,制备膜厚均匀性好的薄膜需要建立一个溅射镀膜膜厚均匀性综合设计系统,对溅射镀膜的各个方面进行分类、归纳和总结,找出其内在联系。
磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电场交互作用,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,从而增大电子撞击ya气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。
用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体,和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。
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