背景技术:
作为上述移载设备,例如,具有:将收纳有基板的箱子(容器)朝向作为处理装置的腔室移载的设备(例如参照专利文献1)。在专利文献1的移载设备中,箱子搬送单元将由搬送台车单元搬送来的箱子朝向设备内搬入,箱子移载单元(移载机)将由箱子搬送单元搬入的箱子朝向腔室移载。或者,箱子移载单元接收被移载到腔室内的箱子,箱子搬送单元将被箱子移载单元接收到的箱子朝向搬送台车单元搬出。
滚筒洗衣机-移载机
背景技术:
作为上述移载设备,例如,具有:将收纳有基板的箱子(容器)朝向作为处理装置的腔室移载的设备(例如参照专利文献1)。在专利文献1的移载设备中,箱子搬送单元将由搬送台车单元搬送来的箱子朝向设备内搬入,箱子移载单元(移载机)将由箱子搬送单元搬入的箱子朝向腔室移载。或者,箱子移载单元接收被移载到腔室内的箱子,箱子搬送单元将被箱子移载单元接收到的箱子朝向搬送台车单元搬出。
箱子搬送单元从搬送台车单元搬入的箱子在通过箱子移载单元而朝着腔室内移载之前,先被载置于:在腔室的上方设置的支承架台(承接台)上。同样地,箱子移载单元从腔室中接收到的箱子在通过箱子搬送单元而向搬送台车单元移载之前,先被载置于支承架台上。
箱子移载单元从上方把持箱子而使其升降移动,由此,将载置于支承架台的箱子朝向腔室移载,或者将从腔室中接收到的箱子向支承架台载置。

技术实现要素:
但是,如上所述的移载设备中,在箱子移载单元(移载机)把持箱子(容器)而使其升降移动时,由于箱子(容器)与支承架台(承接台)发生干涉,故而,为了避免与支承架台(承接台)发生干涉而需要使箱子(容器)进行回转等动作。因此,存在有:在支承架台(承接台)与腔室(处理装置)之间移载箱子(容器)时需要花费时间的问题。另外,还存在如下问题,即:由于箱子移载单元(移载机)进行上述动作,所以,无法以对箱子进行定位的状态来保持箱子(容器),导致箱子移载单元(移载机)的移载精度变差。
因此,本发明的目的在于,提供一种如下所述的移载设备以及移载方法,即,在将收纳有物品的容器朝向对物品进行处理的处理装置移载的移载设备中,能够率地进行:处理装置的载物口与设置于处理装置的载物口上方的承接台之间的容器的移载。
本发明所要解决的课题如上所述,接下来,对用于解决该课题的方案进行说明。
在上述构成中,承接台根据移载机使容器进行的升降移动,而在容器的升降路径上与避开容器的升降路径的位置之间进行移动。
本发明的移载设备在上述移载设备的基础上,所述承接台构成为:能够向与所述容器的升降路径正交的方向移动。
在上述构成中,承接台根据移载机使容器进行的升降移动,而向与容器的升降路径正交的方向移动。
本发明的移载设备在上述移载设备的基础上,所述承接台具备:对所述容器进行载置的多个载置部,所述多个载置部构成为:能够向彼此分离的方向移动。
在上述构成中,多个载置部根据移载机使容器进行的升降移动,而向彼此分离的方向移动。

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