真空镀膜设备我们可能见到的有很多，如真空镀膜机等等，这里为大家介绍一种概述电磁屏蔽膜真空镀膜设备，具体如下：
电磁屏蔽膜真空镀膜设备是在手机、笔记本电脑、电话机、DVD等电子产品塑胶外壳表面上镀制电磁屏蔽（EMI）薄膜的设备。该设备利用等离子体表面处理技术，并采用真空蒸发和磁控溅射镀膜工艺相结合，以真空蒸发镀Ag、Cu，以磁控溅射
中频离子镀膜设备
真空镀膜设备我们可能见到的有很多，如真空镀膜机等等，这里为大家介绍一种概述电磁屏蔽膜真空镀膜设备，具体如下：
电磁屏蔽膜真空镀膜设备是在手机、笔记本电脑、电话机、DVD等电子产品塑胶外壳表面上镀制电磁屏蔽（EMI）薄膜的设备。该设备利用等离子体表面处理技术，并采用真空蒸发和磁控溅射镀膜工艺相结合，以真空蒸发镀Ag、Cu，以磁控溅射镀Ni/Cr不锈钢，可实现不同电阻要求的EMI镀膜。
电磁屏蔽（EMI）膜真空镀膜设备特点及基本参数：
1.有卧式、立式结构，可实现单面同时镀膜；
2.生产效率,度达1分钟/节拍；
3.模组化设，维护方便；
4.镀膜工艺成熟，成品率高；
5.直流磁控溅射阴极可随客户要求选择；
6.真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵组成；
7.大尺寸；2200mm*1200mm(长*宽)；
8.小尺寸；500mm*400mm(长*宽)。
蒸发镀膜机日常维修应该注意哪些
蒸发镀膜机日常维修应该注意哪些
1、例行保养消费设备中发现了一个欠好的痕迹，当即处置。
真空镀膜机不要以为这油活期转换，等候修理时刻，转子泵严峻磨损可以。例如，轴承的一些卡工件转架，转换轴承，然后比及它完好突破了，可真是个大作用，镀膜机可以会引起转架电机焚毁等。
2、定期检修，镀膜机有人会问一个日常的保护也需求活期保护理想上，每个设备都有它自己的生命，如2年油分散泵的运用寿数，提前转换，镀膜机在消费阶段没有作用。
要你把日常保护和活期检修，对设备的运用寿数，在同一时刻的延伸，消费进程中的收效概率大大添加，进步了消费功率。
真空镀膜机蒸发与磁控溅射镀铝性能
严格控制发Al膜的厚度是十分重要的，因为Al膜的厚度将直接影响Al膜的其它性能，从而影响半导体器件的可靠性。对于高反压功率管来说，它的工作电压高，电流大，没有一定厚度的金属膜会造成成单位面积Al膜上电流密度过高，易烧毁。对于一般的半导体器件，Al层偏薄，则膜的连续性较差，呈岛状或网状结构，引起压焊引线困难，造成不易压焊或压焊不牢，从而影响成品率;Al层过厚，引起光刻时图形看不清，造成腐蚀困难而且易产生边缘腐蚀和“连条”现象。
采用真空镀膜机电子束蒸发，行星机构在沉积薄膜时均匀转动，各个基片在沉积Al膜时的几率均等;行星机构的聚焦点在坩埚蒸发源处，各个基片在一定真空度下沉积速率几乎相等。采用真空镀膜机磁控溅射镀膜方法，由于沉积电流和靶电压可以控制，也即是溅射功率可以调节并控制，因此膜厚的可控性和重复性较好，并且可在较大表面上获得厚度均匀的膜层。
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