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根据制作工艺规范选择适当的致冷
分子泵的致冷方式 有三种:自然致冷、强制风冷和水冷。300l/s以下的分子泵,在没有气体负载的情况下,可以采用自然致冷;非常大的分子泵或者有一定的气体负载时,务必选择强制风冷机(风扇致冷);对于一些负载十分大的应用(比如CVD),或
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根据制作工艺规范选择适当的致冷
分子泵的致冷方式 有三种:自然致冷、强制风冷和水冷。300l/s以下的分子泵,在没有气体负载的情况下,可以采用自然致冷;非常大的分子泵或者有一定的气体负载时,务必选择强制风冷机(风扇致冷);对于一些负载十分大的应用(比如CVD),或者不方便使用风扇的地理环境(如性物质地理环境),务必选用水冷散热器。EDWARDS STP-301CB1联系方式
无论选用哪种致冷方式 ,分子泵工作上的操作温度务必保持在5~35℃正中间,选用水冷散热器时,要采用经历处理的软化水处理,制冷冷却循环水的溫度和流量也要考虑到使用说明书的要求。EDWARDS STP-301CB1联系方式
涡轮增压分子泵
涡轮增压分子泵是一种排气管式泵,如图所示5涡轮增压分子泵所显示。在固定不动的叶子中间有很多高速运转的叶子,汽体分子结构被叶子碰撞得到机械能,奔向排气管一侧。
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冷凝泵
冷凝泵有两个关键一部分构成。一个是制冷压缩机,能够 持续为冷泵内的冷藏头出示缩小氦气,为冷藏头减温。一个是与真空设备联接的泵,根据吸咐真空设备中的汽体分子结构,为真空设备真空泵。EDWARDS STP-301CB1联系方式
冷凝泵应用时,必须先用真空泵将其抽至一定真空泵(几十毫托),随后将冷藏头减温至十几K。当冷泵与真空设备接入后,汽体分子结构会被冷藏头吸咐,并凝固在冷藏头顶。因为冷凝泵是将汽体存储在泵内,因而,当存储的汽体较多时,抽真空速度会显著降低,这时必须对冷泵开展再造实际操作。EDWARDS STP-301CB1联系方式
操作流程为:提温放气→N2吹扫→真空包装→减温
冷凝泵的不一样部位冷疑吸咐的汽体不一样。障板冷疑水蒸汽,冷轧钢板上表层冷疑N2、co2、冷轧钢板下表层的活性炭过滤氡气、氦气、。EDWARDS STP-301CB1联系方式
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