电子束结构介绍
粒子增速器的结构可以与显像管类比。蒸发镀膜和溅射镀以及离子镀都是物理气相沉积(PVD)的工艺方法。显像管中的电子枪对应于增速器的电子枪或离子源,显像管中加速电子用的高压电极对应于增速器中的高压加速电极及加速腔。显像管中控制电子运动的电偏转板与聚焦电子的聚焦线圈,对应于增速器中控制粒子运动轨道和聚焦粒子束流的多种电磁部件,如导向磁铁、聚焦磁铁、多极校正磁铁等
电子束蒸发镀膜设备价格
电子束结构介绍
粒子增速器的结构可以与显像管类比。蒸发镀膜和溅射镀以及离子镀都是物理气相沉积(PVD)的工艺方法。显像管中的电子枪对应于增速器的电子枪或离子源,显像管中加速电子用的高压电极对应于增速器中的高压加速电极及加速腔。显像管中控制电子运动的电偏转板与聚焦电子的聚焦线圈,对应于增速器中控制粒子运动轨道和聚焦粒子束流的多种电磁部件,如导向磁铁、聚焦磁铁、多极校正磁铁等。对粒子增速器的粒子运行管道来说,为了减少粒子在运动中与残余气体碰撞而造成粒子的丢失和束流性能变坏,所要求的真空度比显像管要高数千到数万倍。随着科学技术的不断发展,根据科学家对粒子能量和流强的不同要求,陆续产生了不同原理、不同结构的多种增速器。
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电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的?
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设备组成:
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用:电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜,SiO2、ZrO2膜,抗腐蚀和耐高温氧化膜。
电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍
1、系统自动监控和保护功能强,包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。
2、分子筛吸附装置,避免机械泵返油造成膜层污染,提高薄膜纯净度。
3、膜厚监测及控制系统,可在线监测及控制膜层厚度,膜厚仪与基片挡板联动,形成闭环控制。采用晶振膜厚仪
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电子束蒸发镀膜设备简介
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售电子束,我们为您分析该产品的以下信息。
高真空电子束蒸发镀膜设备采用完全封闭的系统框架,结构紧凑,外观更漂亮,使用更安全。电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍1、系统自动监控和保护功能强,包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。6-10KW e型电子枪可选国产或进口,可选配离子束清洗及辅助镀膜功能。该设备广泛应用于科研院所、高校在片状、半球状、异形基底表面制备金属/化合物(ITO等氧化物)/导电薄膜/光学薄膜等。
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