江苏一六仪器 X荧光光谱测厚仪
下照式设计：可以方便地定位对焦样品。
无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm。
微聚焦射线装置：可检测面积小于0.002mm2的样品，可测试各微小的部件。
接收：即使测试0.01mm2以下的样品，几秒钟也能达到稳定性。
精密微型滑轨：精准定位样品。
光谱膜厚仪
江苏一六仪器 X荧光光谱测厚仪
下照式设计：可以方便地定位对焦样品。
无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm。
微聚焦射线装置：可检测面积小于0.002mm2的样品，可测试各微小的部件。
接收：即使测试0.01mm2以下的样品，几秒钟也能达到稳定性。
精密微型滑轨：精准定位样品。
EFP算法软件：多层多元素，甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。
江苏一六仪器 X射线荧光光谱测厚仪
性能特点
满足各种不同厚度样品以及不规则表面样品的测试需求
φ0.1mm的小孔准直器可以满足微小测试点的需求
移动平台可定位测试点，重复定位精度小于0.005mm
采用高度定位激光，可自动定位测试高度
定位激光确定定位光斑，确保测试点与光斑对齐
鼠标可控制移动平台，鼠标点击的位置就是被测点
高分辨率探头使分析结果更加精准
良好的射线屏蔽作用
测试口高度敏感性传感器保护
江苏一六仪器 X射线荧光光谱测厚仪 一次性同时分析：23层镀层，24种元素
厚度di检出限：0.005um
性能优势
精密的三维移动平台
的样品观测系统
的图像识别
轻松实现深槽样品的检测
四种微孔聚焦准直器，自动切换
双重保护措施，实现无缝防撞
采用高分辨率探测器，有效降低检出限，提高测试精度
全自动智能控制方式，一键式操作!
开机自动退出自检、复位
开盖自动退出样品台，升起Z轴测试平台，方便放样
关盖推进样品台，下降Z轴测试平台并自动完成对焦
直接点击全景或局部景图像选取测试点
点击软件界面测试按钮，自动完成测试并显示测试结果
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