特长
● 洁净的真空
● 腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能
● 能在高吸入压强下运作
用途
◆ 照明、电子、光学、半导体
◆ 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
◆ 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
◆ 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
◆ 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备
特长
旋片式真空泵订做
特长
● 洁净的真空
● 腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能
● 能在高吸入压强下运作
用途
◆ 照明、电子、光学、半导体
◆ 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
◆ 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
◆ 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
◆ 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备
特长
● 低温领域下的均热化。
● 低噪音、低振动
● 优良的耐腐蚀性
● 多种自主功能选购件
用途
◆ 活性气体
◆ 非活性气体
◆ 用于产生粉尘工艺中的排气
◆ 作为前级泵使用
◆ 冷冻干燥等水蒸气排气
不同的主真空泵，其前级泵配置各异，分述如下。
(1)蒸汽流泵前级配置
类泵包括油扩散泵、油扩散喷射泵以及增扩泵等。在主泵允许的z大排气口压力下，前级泵需将主泵产生的z大气体量及时抽走，即前级泵的有效抽速必须满足：
Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn
式中,Sq——前级泵的有效抽速，L/s，和选择高真空泵一样，先由Sq来确定前级泵的抽速，然后再根据该抽速选定泵型;
pn ——主泵前级的临界前级压力，Pa;
Qmax ——所能排出的z大气体量，Pa .L/s;
pg ——主泵允许的z高工作压力，Pa;
S——主泵工作在pg时的有效抽速，L/s。
在选择前级泵时，应该注意机械泵的抽速是在大气压力下测得的，但正常使用的泵都是在大气压的条件下运转，使泵的抽速下降了，因而我们必须根据抽速曲线来选择泵。若没有抽速曲线，可参考经验公式
Sp =(1.5～3) S’p
式中，Sp——实际选用的前级泵的抽速;
S’p——计算要求的前级泵抽速。
影响真空泵效率的因素有哪些呢
对循环冷却水请求的研讨：
冷却水供量缺乏,冷凝器会发热,气流声音变大,真空度敏捷降低,乃至蒸汽会返入抽气管。组成●YM系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。冷凝水在多级真空泵中具有无足轻重的效果，冷凝水能够将蒸汽充分冷凝，真空泵排出压力中的水蒸汽分压有必要高于其所对应的丰满蒸汽压，因而冷凝水的温度也要该压力下的丰满温度，才干确保泵体的正常工作。
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