活塞式冷水机组活塞式冷水机组由活塞式制冷压缩机、风冷式或水冷式冷凝器、热力膨胀阀和蒸发器等组成，并配有自动或手动能量调节和自动安全保护装置，常用的水冷活塞式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围一般为35～580kW。配电盘要求防尘，柜安装前要做卫生，安装后还要做卫生，并能使门关闭严密。螺杆式冷水机组螺杆式冷水机组是由螺杆式制冷压缩机、
洁净室施工
活塞式冷水机组活塞式冷水机组由活塞式制冷压缩机、风冷式或水冷式冷凝器、热力膨胀阀和蒸发器等组成，并配有自动或手动能量调节和自动安全保护装置，常用的水冷活塞式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围一般为35～580kW。配电盘要求防尘，柜安装前要做卫生，安装后还要做卫生，并能使门关闭严密。螺杆式冷水机组螺杆式冷水机组是由螺杆式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、热力膨胀阀、油分离器、自控元件和仪表等组成的一个完整的制冷系统。
防腐环氧地坪具有良好的特性：
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翻边应是平的，靠近法兰，不应盖上螺丝孔，四个角应平整，不应有开口，如果法兰上有裂缝或孔，应涂上密封胶，以避免漏气。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。风管与小零件（接头、短支管等）、三通、四通的接头应严密，间隙应用密封胶密封，防止漏气。当风管的咬合、边缘折叠、铆接损坏时，应进行防腐处理。静压箱的箱体、箱内过滤器的框架及固定件应进行镀锌、镀镍等防腐处理。完成风管检查后，应按照图中主管和支管的顺序写出连接编号和工程，合理堆放，等待运输离开工厂。
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