超精密测量用电容测微仪
电容测微仪的特点是非接触测量，精度高、价格低。但测量范围有限，测量稳定性和漂移常令人不满意。美国Lion Precision公司的电容测微仪分辨率可达0.5mm(1Hz频响)， 热漂移每度0.04%满量程。
精密和超精密加工技术是现代机械制造业主要的发展方向之一，在提高机电产品的性能、质量和发展高新技术中起着至关重要的作用，并且已成为在
青海电容测微仪
超精密测量用电容测微仪
电容测微仪的特点是非接触测量，精度高、价格低。但测量范围有限，测量稳定性和漂移常令人不满意。美国Lion Precision公司的电容测微仪分辨率可达0.5mm(1Hz频响)， 热漂移每度0.04%满量程。
精密和超精密加工技术是现代机械制造业主要的发展方向之一，在提高机电产品的性能、质量和发展高新技术中起着至关重要的作用，并且已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。我国的制造业发展已进入了高速发展阶段，设备的引进和大量人才的涌入使许多沿海地区的制造业水平迅速提高。随着决策的科学化、民主化进程不断深入，相信我国的制造业会更、更健康地发展。
电容式非接触式测微仪，通过电容测头可以测量0-200μm范围内的微小位移，测量精度为纳米级。测微仪由机箱与传感模块组成，可组成多测量通道数。 它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属时，传感器仍是线性的。
《差动式多层环形电容测微仪》电容传感器是一种通过简单的机械结构就能实现低功耗、良好的动态性能以及非接触式测量等特点的传感器。电容传感器能有效检测到微米级的位移变化，具有非常高的精度，应用前景广泛。目前主要广泛应用于地震灾害监测、航空航天及工业生产中对微小位移、液位、压力、重力等参数的测量。
善测（天津）科技有限公司依托高校科研与重点实验室的资源和技术优势，截止2016年底，公司仅在成立1年多的时间里,高技术人才队伍已扩充至12人。已申请专利数量达8项,2016年公司营业额突出210万元。预计2017年再申报10项专利,营业额达到700万元。
在2017年新的一年里，善测科技公司将在以下几个项目里完成预计的进度和新的突破。 1、精密电容测微仪预计在2017年中旬完成高、中、低档产品系列化。目前高duan产品已经开始小批量生产。2、振动及间隙测量系统已经完成升级优化，目前正与天津大学联合参与商发机载项目合作，已完成工程样机评审，预计2017年进行初步测试。3、便携式LIBS重金属检测仪处于实验室原理验证阶段，预计2017年下半年完成样机开发。4、滑油金属屑末为2017年重点研发产品，预计2017年年底完成产品开发。
就制造技术的技术实质性而论，主要有精密和超精密加工技术与制造自动化两大领域。前者包括了精密加工、超精密加工、微细加工，以及广为流传的纳米加工，它追求加工上的精度和表面质量的极限，可统称为精密工程；后者包括了设计、制造和管理的自动化，它不仅是响应市场需求、提高生产率、改善劳动条件的重要手段，而且是提高产量的有效方式。两者密切联系，许多精密和超精密加工要靠自动化技术才能达到预期目标，而不少制造自动化则有赖于精密加工才能达到设计要求。
检测与误差补偿。尺寸和形位精度可用电子测微仪、电感测微仪、电容测微仪、自准直仪和激光干涉仪来测量。表面粗糙度可用电感式、压电晶体式表面形貌仪等进行接触测量，或用光纤法、电容法、超声微波法和隧道显微镜法进行非接触测量。表面应力、表面变质层深度、表面微裂纹等缺陷，可用X光衍射法、激光干涉法等来测量。检测可采取离线的、在位的和在线的三种方式。误差预防通过提高机床制造精度、保证加工环境条件等来减少误差源及其影响；误差补偿是在误差分离的基础上，利用误差补偿装置对误差值进行静态和动态补偿，以消除误差本身的影响。
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