种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不
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种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。
净化车间门窗固定缝隙（一类和三类）的处理：
此类缝隙查的安装缝隙不仅在每樟净化车间门窗当今相对数量较少，而且樘与洞口的结合经装修后比较隐蔽，是比较容易密封的间定缝隙。棱与洞口周边连接应牢固，不仅是密闭净化车间门窗，还是一般净化车间门宙构造的要求，由于净化车间门的受力大而猛，在净化车间门程的固定中尤应注意程及其洞口周边的固是否牢固稳定，但对密闭净化车间门窗来说，还必须强调膛与净化车间门洞或宙桐间的缝隙中填塞密实，而后覆盖以室内和室外的墙面装修层就可基本保证这类缝隙的气密性，第二类固定缝隙即玻璃或其他芯板的安装缝隙。应该特别指出，净化车间门扇比窗扇大而且重，密封压紧时施力要大得多，特别平时总在不断启闭旋转，故还须从控制净化车间门扇下垂和保证净化车间门扇刚度等方面来着重考虑五金选用问题。在一橙净化车间门的缝隙数量中相对所占比例较小，但在一膛宙的构造缝隙中却往往是主要部分，特别是对于外宙，它们暴露在大气中，受室外气候的影响，须慎重处理，一方面要尽量减少芯条玻璃安装缝隙，一方面要慎重选择设防构造。
压缩空气灭菌设备通常使用空气过滤器对空气进行过滤除了菌；净化车间门窗固定缝隙（一类和三类）的处理：此类缝隙查的安装缝隙不仅在每樟净化车间门窗当今相对数量较少，而且樘与洞口的结合经装修后比较隐蔽，是比较容易密封的间定缝隙。空气过滤技术多用于通风及空调进气系统中，净化大气中的粉尘颗粒，使进入室内空气更为干净，利用空气过滤器能捕集亚微米粒子；空气过滤器的纤维组织常使用金属网格、无纺织物或特殊纸质的滤料，也可根据不同的净化要求使用不同的滤材，但其所用滤料孔隙较大；空气过滤器的入口质量浓度一般5mg/m3，而其出口质量浓度有的可以低到1m3空气几个微粒计数。
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