湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
旗下武汉离子渗氮研究所自1999年成立以来,即选择了,辉光离子渗氮炉作为主营产品,迄今已生产销售1200多台套各类辉光离子渗氮炉供国内外客户使用。射频磁控溅射气体放电时,由于射频靶电源输
离子渗氮
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
旗下武汉离子渗氮研究所自1999年成立以来,即选择了,辉光离子渗氮炉作为主营产品,迄今已生产销售1200多台套各类辉光离子渗氮炉供国内外客户使用。射频磁控溅射气体放电时,由于射频靶电源输出交变高频正弦电压波形,致使电子碰撞工作气体的几率大为增多,工作气体离化率高,等离子阻抗低,射频磁控溅射膜层沉积速率为二极射频溅射的数倍。
公司是经科学技术1部认定的“火炬计划重点高新技术企业”、是按高企认定新标准经湖北省高新技术企业认定管理工作协调小组认定的“高新技术企业”;
离子渗氮炉是将被处理的工件放置在真空容器中,在辉光放电条件下进行渗氮。离子渗氮炉是将被处理的工件放置在真空容器中,在辉光放电条件下进行渗氮。离子渗氮炉包括炉体、真空系统、供气系统、测温系统及控制系统所组成。
1933年德国Von Engel首1次报道了研究结果 ,利用冷却的裸电极在大气压氢气和空气中实现了辉光放电,但它很容易过渡到电弧,并且必须在低气压下点燃,即离不开真空系统。1988年,Kanazawa等人报道了在大气压下使用氦气获得了稳定的APGD的研究成果,并通过实验总结出了产生APGD要满足的三个条件:(1)激励源频率需在1kHz以上;(2)需要双介质DBD;(3)必须使用氦气气体。低压气体中显示辉光的气体放电(空气中的电子大概在1000对/cm3,由于高压放电现象在低气压状态下会产生辉光现象)现象。此后,日本的Okazaki、法国的Massines和美国的Roth研究小组分别采用DBD的方法,用不同频率的电源和介质,在一些气体和气体混合物中宣称实现了大气压下“APGD”。
从上个世纪末,国内许多单位如科罗纳实验室、清华大学、大连理工大学、华北电力大学、西安交通大学、华中科技大学、中科院物理所、河北师范大学等先后开始了对APGD的研究。035mm,325目)电极为PET膜(介质)、频率为50Hz的电源,在1。由于APGD在织物、镀膜、环保、薄膜材料等技术里域有着诱人的工业化应用前景,在大气压下和空气中实现辉光放电产生低温等离子体一直是国内外学者探寻的研究重点和热点。
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