物理净化方式① 机械过滤：HEPA网，中文意思是高4效空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气通过，但小颗粒不能通过。门与门之间的间隙是密封的，在门叶频繁开启和关闭的情况下，除一些外门碰撞外，门叶上可以完全设置密封条，以避免重型设备等的碰撞，弹性密封条的小部分应铺设在门的隐蔽槽中，门叶的关闭和按压应通过脚踏或敲击以及行人和运输的
百级洁净室
物理净化方式① 机械过滤：HEPA网，中文意思是高4效空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气通过，但小颗粒不能通过。门与门之间的间隙是密封的，在门叶频繁开启和关闭的情况下，除一些外门碰撞外，门叶上可以完全设置密封条，以避免重型设备等的碰撞，弹性密封条的小部分应铺设在门的隐蔽槽中，门叶的关闭和按压应通过脚踏或敲击以及行人和运输的影响进行。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜组成，以形成用于放置和支撑过滤边界的波状垫片。② 吸附过滤即活性炭。活性炭是一种多孔含碳材料，具有高度发达的孔结构。
目前，我国实验室洁净工程的市场需求正在往节能方向发展。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。毕竟洁净工程向来都是耗能大户，据数据统计显示，其耗能比普通写字楼高10-20倍。与同类型工程对比，我国洁净工程耗能也比美国高出15%。用有一定强度和刚度的表面光洁的轻质板材做成八字形风道，隔墙高2.9m，将回风滤管、过滤器安装在风道内，百叶回风口采用定型产品300×300，风口中心标高为0.35m，叶片竖装，以避免百叶片上积尘。
密封结构的所有安装间隙必须用硅胶密封。管线穿墙、穿吊顶处的洞口周围用密封材料嵌缝修补平齐、密并清洁。密封胶应是直和光滑的，没有中断，暴露和毛刺。涂胶环境温度应在0℃以上。门与门之间的间隙是密封的，在门叶频繁开启和关闭的情况下，除一些外门碰撞外，门叶上可以完全设置密封条，以避免重型设备等的碰撞，弹性密封条的小部分应铺设在门的隐蔽槽中，门叶的关闭和按压应通过脚踏或敲击以及行人和运输的影响进行。密封条应沿活动间隙周边连续铺设，使门关闭后形成一圈密封齿形密封线。
为了满足集成电路日益精细的加工要求,各国在微污染控制技术领域内投入了可观的人力、物力进行系统研究,取得了大量科技成果,涌现了一批高科技产品,诸如超过滤器(过滤效率达99.9999%)的问世及ISO3级(0.1μm)洁净室的建立;超纯水及超纯气体的应用;隧道式洁净室及微环境系统洁净室的出现和使用,大大降低了污染。设计和建设洁净实验室，应充分考虑其潜在危险性，并以此作为洁净实验室设计建设时考虑的重要因素。在防微振领域,从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面的建树,为集成电路生产提供了一个优良的环境。
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