光纤磁控溅射镀膜机组成
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助。
设备用途:
在光纤表面镀制纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。配有阳极层离子源进行清洗和辅助沉积,同时设备具有反溅射清洗功能,以提高膜的质量和牢固度。样品台可镀制多种型号光纤产品
系统主要由真空室、磁控靶、单
D型磁控溅射镀膜机定做
光纤磁控溅射镀膜机组成
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助。
设备用途:
在光纤表面镀制纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。配有阳极层离子源进行清洗和辅助沉积,同时设备具有反溅射清洗功能,以提高膜的质量和牢固度。样品台可镀制多种型号光纤产品
系统主要由真空室、磁控靶、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。
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