成品保护后续工序施工时，地板面需盖上干净的布匹，防止损坏和污染。辅助用房地砖面层：按设计要求和有关标准选材，粘贴做到不空鼓，平整度、高低差＜1mm，砖缝用的勾缝胶勾缝，做到平整、与地砖粘结牢固。洁净手术室门宜采用设有自动延1时关闭装置的电动悬挂式自动推拉门，设计为弹簧门，应以铝合金制作，要达到密封和易洁净的要求。防微振的重要性体现在各行各业:例如感光化学工业,彩色胶片乳剂层14个涂层总厚度
工业洁净室
成品保护后续工序施工时，地板面需盖上干净的布匹，防止损坏和污染。辅助用房地砖面层：按设计要求和有关标准选材，粘贴做到不空鼓，平整度、高低差＜1mm，砖缝用的勾缝胶勾缝，做到平整、与地砖粘结牢固。洁净手术室门宜采用设有自动延1时关闭装置的电动悬挂式自动推拉门，设计为弹簧门，应以铝合金制作，要达到密封和易洁净的要求。防微振的重要性体现在各行各业:例如感光化学工业,彩色胶片乳剂层14个涂层总厚度仅19μm,在涂布过程中由于微小的振动将使乳剂涂层厚薄不匀,在胶片上产生横纹。
洁净手术室和洁净辅助用房内必须设置的插座、开关、器械柜等均嵌入墙内，与墙面平齐。 手术室和辅助用房内不得有明露管线。管线隐蔽工程在管线施工完成并进行试压验收后进行。管线穿墙、穿吊顶处的洞口周围用密封材料嵌缝修补平齐、密并清洁。隐蔽工程的检修口周边应粘贴气密性密封垫。回风管及回风口处理：图纸设计为侧墙面回风，为了保证墙面平整，不增加凹凸面，将回风立管移至手术室的两斜对角处。‘’8、折叠时，应相互配合，与折叠机保持一定距离，以免被翻转钢板伤害。
在集成电路的制造过程中,被加工的是单一的硅片,从原材料到产品需要进行几百道物理、化学加工工序,其间如果遭受污染,就会引起产品大量报废,例如64 MDRAV,在制造过程中,空气中尘埃粒径应被控制在0.035μm以下;环境微振动值应控制在4.5X10-3mm/s以下,在光刻工序,很小的微振动会引起对位不准,影响产品的成品率。其他如精密机械加工、光学器件检测、激光实验、超薄金属轧制以及理化实验等都需要对微振动进行控制。当消声器需做成若干米长时,好分成2~3m一节的分段装置,以提高消声效果。
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