溅射镀膜技术
溅射镀膜溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面,使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。如果轰击离子的能量不足,则只能使靶材表面的原子发生振动而不产生溅射。通常,利用低压惰性气体辉光放电来产生入射离子。阴极靶由镀膜材料制成,基片作为阳极,真空室中通入0.1-10Pa的Ar或其它惰性气体,在阴极(靶)1-3KV直流负高压或13.56MHz的射频电压作用下产
磁控溅射
溅射镀膜技术
溅射镀膜溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面,使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。如果轰击离子的能量不足,则只能使靶材表面的原子发生振动而不产生溅射。通常,利用低压惰性气体辉光放电来产生入射离子。阴极靶由镀膜材料制成,基片作为阳极,真空室中通入0.1-10Pa的Ar或其它惰性气体,在阴极(靶)1-3KV直流负高压或13.56MHz的射频电压作用下产生辉光放电。电离出的离子轰击靶表面,使得靶原子溅出并沉积在基片上,形成薄膜。溅射方法很多,主要有二级溅射、三级或四级溅射、磁控溅射、对靶溅射、射频溅射、偏压溅射、非对称交流射频溅射、离子束溅射以及反应溅射等。
由于被溅射原子是与具有数十电子伏特能量的正离子交换动能后飞溅出来的,因而溅射出来的原子能量高,有利于提高沉积时原子的扩散能力,提高沉积组织的致密程度,使制出的薄膜与基片具有强的附着力。在溅射粒子中,中性的靶原子(或分子)沉积在PET基片上形成薄膜。溅射时,气体被电离之后,气体离子在电场作用下飞向接阴极的靶材,电子则飞向接地的壁腔和基片。这样在低电压和低气压下,产生的离子数目少,靶材溅射效率低;而在高电压和高气压下,尽管可以产生较多的离子,但飞向基片的电子携带的能量高,容易使基片发热甚至发生二次溅射,影响制膜质量。另外,靶材原子在飞向基片的过程中与气体分子的碰撞几率也大为增加,因而被散射到整个腔体,既会造成靶材浪费,又会在制备多层膜时造成各层的污染。
如需了解更多磁控溅射镀膜机的相关信息,欢迎关注创世威纳网站或拨打图片上的热点电话,我司会为您提供、周到的服务。
磁控溅射镀膜仪设备在工业中有什么优势
磁控溅射镀膜仪设备发展至今,在工业方面显的极为重要,其作用范围广泛,的改变了传统的镀膜行业。使得镀膜作业在生产质量方面以及效率方面都得到了较大的提升。那么磁控溅射镀膜仪设备在工业中有什么优势呢?
磁控溅射镀膜仪设备主要有一下优势:
1、沉积速度快、基材温升低、对膜层的损伤小;
2、对于大部分材料,只要能制成耙材,就可以实现溅射;
3、溅射所获得的薄膜与基片结合较好;
4、溅射所获得的薄膜纯度高、致密性好、成膜均匀性好;
5、溅射工艺可重复性好,可以在基片上获得厚度均匀的薄膜;
6、能够准确控制镀层的厚度,同时可通过改变参数条件控制组成薄膜的颗粒大小;
7、不同的金属、合金、氧化物能够进行混合,同时溅射于基材上;
8、易于实现工业化。
随着科技的发展,磁控溅射镀膜仪设备在日常中个方面都有着极大的贡献,不仅在节能环保方面有着重大的提升,更为重要的是其解放了劳动人民的双手,让劳动者的从传统镀膜行业中解放。
想要了解更多 磁控溅射镀膜机的相关内容,请及时关注创世威纳网站。
我国真空镀膜机行业发展现状和前景分析
创世威纳——真空镀膜机供应商,我们为您带来以下信息。
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。溅射镀膜技术溅射镀膜溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面,使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。随着制造业高速发展,真空镀膜技术应用越来越广泛。从半导体集成电路、LED、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业的发展来看,对真空镀膜设备、技术、材料需求都在不断增加,包括制造大规模集成电路的电学膜;数字式纵向与横向均可磁化的数据纪录储存膜;充分展示和应用各种光学特性的光学膜;计算机显示用的感光膜;TFT、PDP平面显示器上的导电膜和增透膜;建筑、汽车行业上应用的玻璃镀膜和装饰膜;包装领域用防护膜、阻隔膜;装饰材料上具有各种功能装饰效果的功能膜;工、模具表面上应用的超硬膜;纳米材料研究方面的各种功能性薄膜等。
企业名片
|
北京创世威纳科技有限公司
苏经理(False) / |
联系地址:中国· 北京市· 北京市·北京市昌平区回龙观北京国际信息产业基地高新二街2号4层(邮编:102209)
联系电话:010-62907051 手机:13146848685
联系传真:010-62999722
电子邮箱:cswn62907051@163.com 联系QQ:584609101
|