湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
操作比气体渗氮复杂,需要控制的厂艺参数多,测量温度和控制温度均匀比较难;装炉有严格要求,装炉不妥或形状不同、大小不同的零件混装炉容易出现渗层不均匀等疵病,造成废品或返修;设备费刚贵,有时需要配置
离子氮化炉
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
操作比气体渗氮复杂,需要控制的厂艺参数多,测量温度和控制温度均匀比较难;装炉有严格要求,装炉不妥或形状不同、大小不同的零件混装炉容易出现渗层不均匀等疵病,造成废品或返修;设备费刚贵,有时需要配置辅助阳极等。
辉光放电时,在放电管两极电场的作用下,电子和正离子分别向阳极、阴极运动,并堆积在两极附近形成空间电荷区。因正离子的漂移速度远小于电子,故正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多,使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内。这是辉光放电的显著特征,而且在正常辉光放电时,两极间电压不随电流变化。1933年德国VonEngel首1次报道了研究结果,利用冷却的裸电极在大气压氢气和空气中实现了辉光放电,但它很容易过渡到电弧,并且必须在低气压下点燃,即离不开真空系统。
用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双极性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。双极脉冲中频靶电源用于辉光放电。矩形波或正弦波中频靶电源进行1气体辉光放电有很多共同特点
2003年,自然科学基2金委2员会将“大气压辉光放电”列为重点研究项目。APGD的研究也取得了一些进展,如He、Ne、Ar、Krypton惰性气体在大气压下基本实现了APGD,空气也已经实现了用眼睛看上去比较均匀的准“APGD”。根据10ns暴光的ICCD拍摄的放电图像,Radu小组发现,在大气压惰性气体He、Ne、Ar、Krypton的DBD间隙中,可以实现辉光放电。
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