ZF300热蒸发镀膜机
ZF300热蒸发镀膜机是专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。采用大抽速分子泵准无油高真空系统,机架电控一体化设计,整体布局紧凑合理,充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的真空室结构。两组/三组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。派瑞林涂层材料优势:派瑞林用的真空气相沉积工艺制备,由活性小分子在基材表面“生
单室有机无机热蒸发镀膜机销售
ZF300热蒸发镀膜机
ZF300热蒸发镀膜机是专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。采用大抽速分子泵准无油高真空系统,机架电控一体化设计,整体布局紧凑合理,充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的真空室结构。两组/三组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。派瑞林涂层材料优势:派瑞林用的真空气相沉积工艺制备,由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层,具有其他涂层难以比拟的性能优势。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等,特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。
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300D三源有机蒸发镀膜机
主要用途:
特别适合OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。
系统组成:
主要由真空室系统蒸发室、蒸发源系统、样品台系统、 真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、膜厚测试 系统、电控系统组成。
技术指标:
极限真空度6.7×10-5Pa,系统漏率:1×10-7PaL/S; 恢复真空时间:40分钟可达6.6×10 Pa(短时间暴露 大气并充干燥氮气后开始抽气)
样品台:尺寸为4英寸平面样品;
蒸发源:3套
4套挡板系统:挡板共有3套,动密封手动控制;
气路系统:质量流量控制器1路
石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统
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