测量仪在平面上的尺寸测量误差(Exy): 该测量误差代表在影像测量平面上任意方向摆放产品或样件，测量二维尺寸的示值误差。测量仪在Z轴上的尺寸测量误差( Ez): 该测量误差代表在垂直于影像测量平面方向，单轴方向测量的示值误差。测量仪的测量头的尺寸测量误差(Ev) :在平台不做移动，在影像视场范围内测量平面任意尺寸的示值误差。
半自动相比手动又要一些。
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测量仪在平面上的尺寸测量误差(Exy): 该测量误差代表在影像测量平面上任意方向摆放产品或样件，测量二维尺寸的示值误差。测量仪在Z轴上的尺寸测量误差( Ez): 该测量误差代表在垂直于影像测量平面方向，单轴方向测量的示值误差。测量仪的测量头的尺寸测量误差(Ev) :在平台不做移动，在影像视场范围内测量平面任意尺寸的示值误差。
半自动相比手动又要一些。全自动和手动的区别如下：首先是测量仪在精度上的区别，手动三坐标测量仪由于是纯手动操作，所以随机误差远远大于自动机，另外阿贝误差也无法解决，所以精度上要差至少一个等级。其次是检测效率，全自动三坐标测量仪由于带有自动控制系统，可以通过编程对批量工件进行大量检测，所以相比手动三坐标测量仪而言，检测效率大大提高。
就是价格方面，手动机由于没有运动控制系统，所以价格只有自动机的三分之一到一半左右。其实总得来说，手动机对操作人员的要求很高，经验越是丰富的操作人员，对手动三坐标测量仪的精度掌握越高，反之越低，一般性企业如果检测工件量比较小且对精度要求不高的话，可以选择手动三坐标测量仪，不过要对操作人员进行培训。而全自动的只要人员编好程序，随便叫不怎么会的人更换样品都可以。
测量仪原理是基于CCD影像测量的基础上，依托于计算机强大现代测量技术和空间几何运算的智能检测软件而产生的。计算机在安装上控制、测量和绘图软件后，变成了具有现代化软件的智能检测大脑，是测量仪的主体。它能读取光栅尺的位移数值，通过建立在空间几何基础上的软件模块运算，瞬间得出所要的数据结果；并在计算机屏幕上产生产品图形，供使用者进行所需的图影对照，进而能够直观地得到测量结果可能存在的偏差。
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