镀膜技能在刀具、模具等金属切削加工东西方面的运用。在生活中咱们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等,这些即是通过镀膜技能加工后的涂层东西。
(1)金黄色的是在刀具上涂镀了TiN、ZrN涂层。TiN是一代运用广泛的硬质层资料。
(2)黑色的是在切削东西上涂了TiC、CrN涂层。
(3)钴铜色的是在刀具上镀涂了TiALN涂层。
硅胶真空镀膜设备
镀膜技能在刀具、模具等金属切削加工东西方面的运用。在生活中咱们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等,这些即是通过镀膜技能加工后的涂层东西。
(1)金黄色的是在刀具上涂镀了TiN、ZrN涂层。TiN是一代运用广泛的硬质层资料。
(2)黑色的是在切削东西上涂了TiC、CrN涂层。
(3)钴铜色的是在刀具上镀涂了TiALN涂层。
20世界80年代早期随着等离子体辅助PVD工艺的显露,CVD在工具方面的应用衰落了。但由于这种工艺具有非常好的渗入特性,其在CVI、ALE等领域的工艺中有着很好的应用前景,主要用于金属涂层、陶瓷涂层、无机涂层材料。
金属有机化合物CVD(MOCVD)工艺被广泛用于电子工业,例如生产AI和GaAs膜,当用于生长单晶材料膜时,这种工艺称为金属有机气相外延(MDVPE)。
原子层外延(ALE)CVD是一种CVD衍生方法,可以控制膜的成长,现在该工艺已用于生产电荧光膜。
常压化学气相沉积(NPCVD)或大气压下化学气相沉积(APCVD)是在0.01—0.1MPa压力下进行,低压化学气相沉积(LPCVD)则在10-4 MPa下进行。CVD或辉光放电CVD,是低压CVD的一种形式,其优点是可以在较低的基材温度下获得所希望的膜层性能。
CVD的进一步发展是化学气相浸渍(CVI) ,或称化学气相注入,在这种工艺中由多孔材料制成的物件被注入某种元素以强化基材性能。
等离子辅助CVD(PACVD),也称为等离子活化CVD,等离子援助CVD,等离子增强CVD。
直流等离子体化学气相沉积(DC-PCVD)
DC-PCVD是利用高压直流负偏压(-1~-5kV),使低压反应气体发生辉光放电产生等离子体,等离子体在电场作用下轰击工件,并在工件表面沉积成膜。
直流等离子体比较简单,工件处于阴极电位,受其外形、大小的影响,使电场分布不均匀,在阴极四周压降,电场强度,正由于有这一特点,所以化学反应也集中在阴极工件表面,加强了沉积效率,避免了反应物质在器壁上的消耗。缺点是不导电的基体或薄膜不能应用。由于阴极上电荷的积累会排斥进一步的沉积,并会造成积累放电,破坏正常的反应。
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