湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。目前，我国实验室洁净工程的技术走势正在往空气分子控制等高1端工程技术发展。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同
洁净室设计
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。目前，我国实验室洁净工程的技术走势正在往空气分子控制等高1端工程技术发展。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
洁净实验室作为科学研究、产量优化、安全保障和质量控制的重要组成部分，在实验室设计领域和制造过程中越来越重要。管壁与金属墙板之间的缝隙应用胶水或橡胶海绵填塞，然后用密封胶处理。设计和建设洁净实验室，应充分考虑其潜在危险性，并以此作为洁净实验室设计建设时考虑的重要因素。根据《洁净厂房设计规范》规章规定，对工作认为比较合适的低照度作了统计，其结果略高于150lx。因此，将一般照明的下限值定为150lx是合适的，虽然在300lx时有更高的工作效率。
制作圆形风管时，咬边两端应在卷绕机上呈弧形，上下辊距应根据风管圆直径规格适当调整。操作时，不得用手直接推动钢板。按冷却介质的种类可分为空气冷却和水冷却两种形式，按压缩机种类可分为活塞式、螺杆式、离心式三种形式，按提供的冷源或热源情况可分为冷水机组和热泵机组两种形式。折叠或滚动后的钢板用封闭机器或手工缝制。在操作过程中，力要均匀，不要太大。单嘴或双口咬人，无膨胀裂纹和半咬现象。风管板拼接接缝应错开，不得有交叉缝。矩形管边缘长度大于或等于630mm，保温风管边长大于或等于800mm，管段长度应加强1.2m以上。
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