真空镀膜机真空器件的常用检漏方法真空镀膜机真空器件的常用检漏方法
依据电真空器材的结构特色及丈量精度要求，常用的有两种检漏办法，即氦罩法和喷吹法（这两种检漏办法具体介绍可见：氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见办法）。检漏时，先用氦罩法进行总漏率的测定，当总漏率超出答应值后再用喷吹法进行漏孔的认位。
氦罩法是被检件与检漏仪衔接抽真空到达检漏状况后，用一个充溢氦气的查验
真空电镀机
真空镀膜机真空器件的常用检漏方法
真空镀膜机真空器件的常用检漏方法
依据电真空器材的结构特色及丈量精度要求，常用的有两种检漏办法，即氦罩法和喷吹法（这两种检漏办法具体介绍可见：氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见办法）。检漏时，先用氦罩法进行总漏率的测定，当总漏率超出答应值后再用喷吹法进行漏孔的认位。
氦罩法是被检件与检漏仪衔接抽真空到达检漏状况后，用一个充溢氦气的查验罩，把被检件全体或部分的表面面包围起来，如图4所示。查验罩充氦时先将罩内空气排出再充氦，以确保罩内氦浓度尽可能挨近100百分之，被检件上任何地方有走漏。
检漏仪都会有漏率值改变，显示出漏率值。氦罩时刻也要继续3~5倍检漏仪呼应时刻。ASM192T2氦质谱检漏仪反应时刻小于0.5s,因而氦罩时刻30s即可。氦罩法可方便地测定被检件总漏率，不会漏掉任何一处漏点，但不能确认漏孔方位。
喷吹法是将被检件与仪器的真空体系相连，对被检件抽真空后用喷枪向漏孔处吹喷氦气。当有漏孔存在时，氦气就经过漏孔进入质谱仪被检测出，喷吹法弥补了氦罩法不能定位的缺点。
实验室中使用小型镀膜设备
实验室中使用小型镀膜设备
我们在实验室中使用的基本上都是小型的镀膜设备，下面我们就来了解一下这种设备。
用作真空蒸发镀的装置称为蒸发镀膜机。蒸发镀膜机主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备四部分组成。真空室是放置镀件、进行镀膜的场所，直径一般为400~700mm，高400~800mm，用不锈钢或碳钢制作，有水冷却装置。
真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染，消除空间碰撞，提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。
为了提高镀层厚度的均匀性，真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置，如用行星运动方式，这种运动方式成膜均匀性好，台阶覆盖性能良好，镀件装载量大，可以充分利用真空镀膜室的有效空间，是目前经常采用的运动方式。
排气系统一般由机械泵、扩散泵、管道和阀门组成。为了提高抽气速率，可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。因此，排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以保证的工作循环，也要求确保在蒸气镀膜时迅速排除从蒸发源和工作物表面所产生的气体。
真空镀膜机使用及保养注意事项
真空镀膜机使用及保养注意事项
真空镀膜机设备在运输中可能会出现这样那样的问题，所以在使用之前，一定要严格进行检查，以确保人身安全，那么在使用真空镀膜机使用前具体是需要做好哪些检查工作呢？
1.主机齿轮箱、牵引减速箱应该时常加油，更换齿轮油。
2.新机请在使用10天左右更换新齿轮油，以确保各转动部位正常运转。
3.注意加油，防止卡住和过热损坏。
4.还应检查各连接部位的固紧情况，防止罗栓松动。
5.泡管中的压缩空气应保持适量。
6.启动主电机时，应先启动电机后慢慢加速；关闭主电机，应先减速后再关机。
离子镀膜设备的工作原理及操作方法
离子镀膜设备的工作原理及操作方法
目前商业上已有很精制的设备安装在显微镜下的载物台的位置上。溅射镀膜时，将抛光的试样安放在式样头具上，倾转到面对电子枪（阴极）的位置，调节溅射室中的气压，辉光放电，阴极溅射，反应溅射沉积。一定时间后，中断溅射，把溅射沉积的试样表面，转回到面对物镜的位置，观察试样表面的颜色，来评定沉积膜的厚度，当要求的颜色得到时，镀膜操作停止。
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