1、把整台泵从基座至检修场地，拆装、清洗真空泵应在清洁的室内进行。拆洗时.应注意各部件、零件的原装配位置、方向及组合松紧，并作好记录或记号，以免装错；拆除靠背轮保护罩，复查泵的中心；
2、在取出旋片和转子时，注意一定要用手捍紧旋片，因旋片受弹簧力较大，一不小心容易脱手飞出，碰伤旋片棱角及衷面而不能使用，松靠背轮连接螺栓，拆去靠背轮。
3、松泵进、出口管道法兰螺栓，拆
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1、把整台泵从基座至检修场地，拆装、清洗真空泵应在清洁的室内进行。拆洗时.应注意各部件、零件的原装配位置、方向及组合松紧，并作好记录或记号，以免装错；拆除靠背轮保护罩，复查泵的中心；
2、在取出旋片和转子时，注意一定要用手捍紧旋片，因旋片受弹簧力较大，一不小心容易脱手飞出，碰伤旋片棱角及衷面而不能使用，松靠背轮连接螺栓，拆去靠背轮。
3、松泵进、出口管道法兰螺栓，拆除进、出口管道；拆下的零部件应分开，妥善处理，不可乱放乱堆，否则，容易互相碰伤或丢失，
工作完毕，切断电炉电源，等炉温降到一定温度后，关闭扩散泵加热电源。在抽预真空状态下，等油增压泵降油温，然后关真空阀，关机械真空泵，后关冷却水和总电源。工作结束后，应及时填写设备使用记录及相关文件，整理及打扫工作现场，消灭事故隐患。
真空设备操作应注意，扩散泵加热时，主抽泵及前级阀需打开抽真空。主阀必须在前级阀打开后才能打开。主阀未关上时，炉体放气阀不能打开。
真空设备的改造。为防比大量冷空气进行扩散泵和增压泵，可在抽高真空管道系统加装一台维持泵，实现真空阀与放气阀之问互锁，从而确保设备安全运行。由于管路没有加维持泵，在抽高真空时，气动挡板阀由于损坏或误操作而漏气，使冷空气进入，冷空气遇高温油蒸气，使气体迅速膨胀发生。
不对中是非常普遍的故障，即使采用自动调为轴承和可调真空泵节联轴器也难以使轴系及真空泵轴承对中。当对中超差过大时，会对真空泵造成一系列有害影响，如联轴器咬死、轴承磨损、油膜失稳、轴扰曲变形增大，严重时将造成真空泵卡死，崩塌等严重故障发生。
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真空泵长期使用后，多少都会出现真空泵漏油现象。如果只是小范围的渗漏，只要泵油在油视镜观察的正常范围以内，可以暂时不用管，若油位己正常范围了，就需要立即添加泵油才可正常使用，否则可能会使真空泵损坏。注意，油位如果太高也可导致喷油，是加到油视镜三分之二处。
如果真空泵泵油漏的厉害，就需要更换真空泵的油封（往往是几个密封件），如果自己可以更换，从真空泵的公司买回相应备件，自行更换，如果自己不会更换，就需将泵发回厂家或找代理商进行维修。
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