湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
脉冲或正弦半波中频靶电源的单个脉冲的气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律相符。可以将其视为气体放电伏-安特性在单个脉冲的放电中的复现。用于磁控溅射镀膜气体放电的
辉光离子渗氮
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
脉冲或正弦半波中频靶电源的单个脉冲的气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律相符。可以将其视为气体放电伏-安特性在单个脉冲的放电中的复现。用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双极性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。脉冲直流靶电源在脉冲期间起辉溅射,在脉冲间隙自然灭辉(因频率较高,肉眼难以分辨)。
选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。辉光放电时,在两个电极附近聚集了较多的异号空间电荷,因而形成明显的电位降落,分别称为阴极压降和阳极压降。一般来说,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2Pa)。
经过近20年的发展,低气压低温等离子体已取得了很大进展。但由于其运行需抽真空、设备投资大、操作复杂、不适于工业化连续生产,限制了它的广泛应用。低气压下的辉光放电虽然可以处理这些材料,但存在成本、处理效率等问题,目前无法规模化应用于纺织品的表面处理。离子渗碳后工件的硬度、疲劳强度、性等力学性能比采用传统渗碳方法所得力学性能都高,而且渗碳速度快,特别是对狭小缝隙和小孔能进行均匀的渗碳,渗碳层表面碳含量和渗层深度容易控制,工件不易氧化,表面洁净,耗电量低,无污染。长期以来人们一直在努力实现大气压下的辉光放电(APGD)。
在放电开始前间隙中必须存在大量的种子电子,而长寿命的亚稳态及其彭宁电离可以提供这些种子电子。根据10ns暴光的ICCD拍摄的放电图像,Radu小组发现,在大气压惰性气体He、Ne、Ar、Krypton的DBD间隙中,可以实现辉光放电。
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