DZS800型电子束镀膜设备
主要用途：
用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等，批量生产型。
系统组成:
系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、计算机系统及安装机台等部分组成。
技术指标：
极限真空度：≤6.7×10 Pa 恢复真空时间：从1×10 Pa抽至
电子束蒸发镀膜机厂家
DZS800型电子束镀膜设备
主要用途：
用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等，批量生产型。
系统组成:
系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、计算机系统及安装机台等部分组成。
技术指标：
极限真空度：≤6.7×10 Pa 恢复真空时间：从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
系统漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；
真空室：真空室1200x9000 x800mm采用U型箱体前开门，后置抽气系统
e型电子枪：阳极电压：10kv(2套) 坩埚：水冷式坩埚，24穴设计，每个容量11ml
功率：0-10KW可调 电阻蒸发源(可选)
基片尺寸：可放置4″基片一次更换20个样品
样品台：基片可连续回转，转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离350mm加热温度 400°C±1°C
气路系统：质量流量控制器1路
石英晶振膜厚控制仪：监测膜厚显围：0-99μ9999
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——电子束产品供应商，我们为您带来以上信息。
电子束简介
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容，沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产电子束产品，欢迎新老客户莅临。
电子经过汇集成束。具有高能量密度。它是利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压（25-300kV）加速电场作用下被加速至很高的速度（0.3-0.7倍光速），经透镜会聚作用后，形成密集的高速电子流。
电子束【释义】：又称电子注。在真空汇集成束。可采用静电场聚焦,磁场聚焦等方法。电子显微镜和电视机就是利用电子束形成影像的。
电子束蒸发镀膜机安装介绍
安装台架：整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上，此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。上面罩不锈钢装饰板。
机架：碳钢制作，表面喷塑处理，不锈钢面板，支撑真空腔体及真空系统，底下配脚轮，方便移动、定位。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年电子束产品行业经验，专注电子束产品研发定制与生产，的电子束产品生产设备和技术，建立了严格的产品生产体系，想要更多的了解，欢迎咨询图片上的热线电话！！！
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