广州帕纳光电科技有限公司----分子泵是一种机械泵,它运用高速运行的发电机转子将角动量传输到气体分子式以获得方向速度,从而将其变小并控制器到上一级的排气口。STP-301磁悬浮分子泵维修厂家;
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维修保养分子泵的操作过程要求:
1.分子泵的气体控制电路插孔的相连接法兰片的螺钉应朝上,以防止松弛导致的
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广州帕纳光电科技有限公司----分子泵是一种机械泵,它运用高速运行的发电机转子将角动量传输到气体分子式以获得方向速度,从而将其变小并控制器到上一级的排气口。STP-301磁悬浮分子泵维修厂家;
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维修保养分子泵的操作过程要求:
1.分子泵的气体控制电路插孔的相连接法兰片的螺钉应朝上,以防止松弛导致的汽体泄漏;
2.分子泵不能在空气中打开,尽量在保证10Pa时打开。打开相对性的高压阀以启动分子泵;
3.当M2(架构2)或M7的真空泵值从始至终没有立即时,请检查旋片泵的汽车继电器是否一切正常工作上;
4.打开分子泵之前,尽量先打开制冷循环系统进水阀。分子泵的抽滤离心叶轮停止后,尽量关闭制冷循环系统进水阀;
5.每一次待机后,尽量清除每一个分子泵的安全通道,以保持其清除,以避免不必要的损坏;
6.当出现警告信息“EF”时,检查制冷冷却循环水安全出口是否顺畅,而且用重机枪进行检查。在再一次打开分子泵之前,请确保水路顺畅。当出现其他报警设备时,严禁再一次启动分子泵进行后工艺处理。
7.当分子泵出现常见问题无法运用时,应中断生产加工,并在手拉式铺满汽体后拆卸预埋分子泵;
8.当分子泵未起动,检查前边泵和汽车继电器是否一切正常工作上;
9.当分子泵造成常见问题时,尽量根据常见问题提示进行处理。
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广州帕纳光电科技有限公司----前期分子泵
1912年,意大利人W.Gaede发明创造了台分子泵,它的发电机转子直径为50mm,发电机转子上切有八个规格型号不一样的槽,传动比为12000r/min,泵效约为1.5L/s。这种泵的基本原理与当今分子泵的基本原理一致,但由于常见问题多取代,没法全民化。STP-301磁悬浮分子泵维修厂家;
广州帕纳光电科技有限公司----1925年,M.siegbahn在法国的高等院校实验室中设计开发了一种盘型分子泵,其结构与当今走动式分子泵相近,泵体上开过螺旋槽,发电机转子为一园盘。1939年,LEBOLD公司生产制造过两台,直径540mm,槽的规格型号:里侧为22mm×22mm,两边为22mm×mm,传动比3700r/min,泵效达到73L/s。STP-301磁悬浮分子泵维修厂家;
广州帕纳光电科技有限公司----分子泵在加快时输出功率很大,內部发烫情况严重,经常的起停(2次起动间距<三十分钟)会导致发热量积累,使分子泵內部的溫度过高,加重滚动轴承损坏。STP-301磁悬浮分子泵维修厂家;
广州帕纳光电科技有限公司----依据加工工艺标准挑选适度的制冷
分子泵的制冷方法有三种:当然制冷、强制性风冷和水冷。300l/s下列的分子泵,在沒有汽体负荷的状况下,能够选用当然制冷;很大的分子泵或是有一定的汽体负荷时,必须挑选强制性风冷式(散热风扇制冷);针对一些负荷非常大的运用(例如CVD),或是不使用方便散热风扇的自然环境(如辐射源自然环境),必须采用水冷散热。STP-301磁悬浮分子泵维修厂家;
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